• YWkorz} stuje miękkie promieniowanie rentgenowskie o E>100eV, pozwalając na wybicie elektronów z orbitali rdzenia
• Metoda zasadniczo nieinwazyjna
• Detekcja wszystkich pierwiastków za wyjątkiem H i He oraz możliwość ich ilościowego oznaczenia
Informacja z warstwy o grubości ok. 1-8 nm
■ I