□ Wykorzystuje miękkie promieniowanie rentgenowskie o E>100eV, pozwalając na wybicie elektronów z orbitali rdzenia
□ Metoda zasadniczo nieinwazyjna
□ Detekcja wszystkich pierwiastków za wyjątkiem H i He oraz możliwość ich ilościowego oznaczenia
□ Informacja z warstwy o grubości ok. 1-8 nm
21