3582469141

0.    Zastosowania czujników ciśnienia

-    pomiar ciśnienia w kolektorze dolotowym silnika spalinowego

-    kontrola procesów przemysłowych

-    mikrofony, systemy hydrauliczne

Zasada działania:

Monitorowanie oddziaływania ciśnienia na specjalnie zaprojektowaną strukturę mechaniczną. Oddziaływanie wywołuje zmianę kształtu/ugięcia/naprężenia materiału, które może być miarą ciśnienia

Np. Anizotropowo trawione membrany krzemowe

-    dobra kontrola wymiarów membrany

-    produkcja setek przyrządów na 1 płytce

1. PIEZOREZYSTYWNY CZUJNIK CIŚNIENIA

Cinifew _<m gfgirt dźwigni zwiększa naprężenia piezorezystora

Wity

- kompensacja wpływu temperatury (nie przymocowana do membrany)

membrana z polikrzemu pokrywa całą powierzchnię chipu (oprócz kontaktów) izoluje piezorezystory i belki od medium fizycznie, elektrycznie, termicznie

-    Membrana krzemowa z wdyfuzowanymi piezorezysorami.

-    2 równoległe, 2 prostopadłe do osi maksymalnego ugięcia membrany

-    Dzięki temu zmiany rezystancji dla obu par są równe i przeciwne

-    Piezorezystory często łączone są w mostek Wheatstone'a

-    Membrana bossed - trawienie anizotropowe - grubsza środkowa część membrany

-    zewnętrzna i wewnętrzna para piezorezystorów poddawane są przeciwstawnym naprężeniom (jest to zaletą w przypadku pomiarów różnicowych)

-    Kształt membrany (grubsza na środku) poprawia liniowość czujnika

2. Technologia układów scalonych - czujniki ciśnienia bezwzględnego

Umożliwia wykonanie membran z:

a)    Osadzonego krzemu polikrystalicznego (warstwa ofiarna Si02)

b)    Azotku krzemu (warstwa ofiarna - polikrzem)

Warstwa ofiarna znajduje się pod membraną. Tj, membrana jest osadzana na warstwie ofiarnej. Następnie wykonuje się niewielkie otwory w membranie (na środku) i wprowadza czynnik trawiący

warstwę ofiarną.

Otwory zasklepia się i mamy czujnik.

Powstałe czujniki to czujniki

PolySi resistofs

PolySi

Alimerconnectł _PolySl diaphragm

PolySi reuiton

T