2210689400

4

Komora próbki jest wyposażona w ruchomy stolik umożliwiający przesuwanie próbki w trzech prostopadłych kierunkach, jej obrót wokół osi pionowej i odchylanie od pionu. Specjalne drzwiczki pozwalają na umieszczanie próbki w komorze. Wewnątrz komory zainstalowane są detektory zbierające sygnały emitowane z próbki, które dalej przesyłane są na monitor. Ponieważ wiązka elektronów przemiata pewien obszar próbki, to na monitorze powstający obraz jest punktowym odwzorowaniem badanej powierzchni.

Rysunek 2. Rodzaje sygnałów generowane podczas bombardowania powierzchni próbki wiązką elektronów.

Elektrony wtórne (SE) ang. secondary electrons

W wyniku zderzeń niesprężystych elektronów pierwotnych z atomami próbki następuje wybijanie elektronów wtórnych z orbitali atomowych. Elektrony wtórne stanowią 90 % wszystkich elektronów wybijanych z próbki. Mają one niską energię < 50 eV i są wybijane z przypowierzchniowej warstwy o grubości do ok. 10 - 50 nm. Z tego powodu powstający obraz ma najlepszą zdolność rozdzielczą równą w przybliżeniu średnicy wiązki elektronów pierwotnych padających na badaną powierzchnię. Liczba elektronów wtórnych emitowanych z próbki silnie zależna jest od kąta padania wiązki pierwotnej do powierzchni próbki. Tak więc kontrast obrazu pochodzącego z elektronów wtórnych spowodowany jest gównie topografią próbki.