Elektrony przyspieszone w polu elektrycznym zderzają się z atomami ośrodka, powodując ich lawinową jonizację udarową, a w efekcie tworzy się wąski kanał plazmowy wypełniony jonami i elektronami (rys 2c i 2dV Przepływający przez kanał prąd powoduje wydzielanie się ciepła, następuje parowanie ośrodka i utworzenie wokół kanału pęcherza gazowego o powiększającej się średnicy w czasie (rvs.2e i 2fl. Typowy przebieg zmian napięcia i natężenia prądu w czasie wyładowania pokazany jest na wykresach pod głównymi rysunkami. Energia elektronów, uderzających w powierzchnię anody, a jonów w powierzchnię katody, zamieniana jest na ciepło, co powoduje gwałtowny lokalny wzrost temperatury materiału elektrod do wartości przekraczających temperaturę topliwości, a często i temperaturę wrzenia. Prowadzi to do topienia i intensywnego parowania. Cały proces przemian fazowych materiału ma charakter wybuchowy, czemu sprzyjają zmiany ciśnienia w pęcherzu gazowym. Początkowo ciśnienie gwałtownie rośnie, a następnie po zakończeniu wyładowania spada, co intensyfikuje parowanie roztopionego metalu, które może mieć charakter mikrowybuchu. W wyniku tworzącego się krateru wyrzucane są strugi pary i ciekłego metalu frvs.2a i 2hl. Po wyładowaniu pęcherz gazowy kurczy się (rvs.2hf i dzieli się na dwa przy elektrodach.
Dzielące się pęcherzyki zamykają się implozyjnie, co sprzyja usuwaniu części roztopionego metalu z krateru. Pozostały w kraterze metal krzepnie, tworząc na powierzchni cienką warstewkę o strukturze i właściwościach innych od materiału w głębi PO.
Po wyładowaniu następuje dejonizacja kanału międzyelektrodowego i cykl powtarza się od początku w miejscu, w którym istnieją najlepsze warunki do ponownej jonizacji przestrzeni międzyelektrodowej (rvs.2R.
Po obróbce, powierzchnię pokrywa zbiór charakterystycznych kraterów w postaci zbliżonej do czasz kulistych. Badania produktów erozji wyrzuconych do dielektryka wykazują obecność mikroskopijnych cząstek materiału elektrod o kształcie zbliżonym do kulek (litych i pustych wewnątrz), a czasami małą ilość cząstek, które nie uległy przetopieniu, a w sposób mechaniczny zostały oderwane od elektrod, świadczy to, że w pewnych warunkach, mechaniczne oddziaływanie wyładowania elektrycznego oraz powstające naprężenia cieplne w materiale mogą odgrywać znaczącą rolę (zwłaszcza przy obróbce materiałów bardzo kruchych).
Wwyniku postępującej erozji elektrycznej podczas kolejnych wyładowań, w miarę dosuwania elektrody, następuje kształtowanie obrabianego przedmiotu. Równolegle z ubytkiem materiału na przedmiocie obrabianym następuje erozja elektrody narzędziowej, a więc jej zużycie, powodująca zmianę pierwotnego kształtu (rvs 3V