92589

Fe +2H3PO4 = H₂ + Fe(H₂P0₄)2 -» FeHPOj + H₃P0₄

Gmbość - od 10 firn dla Zn do 0,25 pm dla Fe (fosforany); chromiany - tylko 0.1 pm Są to procesy o bardzo szerokim zastosowaniu przemysłowym (technika antykorozyjna)

4. Trawienie elektrochemiczne i elektropolerowanie

Trawienie elektrochemiczne

-    przyśpieszenie procesu (w porównaniu z chemicznym)

-    raczej przygotowania podłoża (np. polerowanie)

Metale - tylko przygotowanie podłoży, w roztworach kwasów, np. stal - w roztworze kwasu siarkowego

Półprzewodniki - np. polerowanie Si w roztworze mieszaniny NH₄HF₂ + H₂0 + gliceryna Warunki - z anodowych krzywych polaryzacji, w obszarze aktywnego roztwarzania lub w obszarze pasywnym (elektropolerowanie)

Anodowa krzywa polaryzacji dla metalu- podstawowa charakterystyka do wyznaczania warunków elektrotrawienia i elektropolerowania metali i stopów; kolejno trawienie - pasywacja - elektropolerowanie - wydzielanie tlenu

Współczesne ważne zastosowania trawienia elektrochemicznego - wytwarzanie mikrostruktur, w tym mikromaszyn. Z kolei w znacznie większej skali prowadzi się przemysłowe kształtowanie elektrochemiczne, w którym katoda stanowi „tnący nóż" takiej „elektroobrabiarki"

5. Trawienie gazowe i jonowo-plazmowe materiałów

Trawienie w fazie gazowej Zastosowania - półprzewodniki

Si- wystarcza czasami przesunięcie warunków osadzania Si (CVD);

SiH₄ <-—> Si + 2H₂ Zwykle specjalne mieszaniny do trawienia;

-    gaz nośny - H₂. Ar. He. Ne

-    dodatek 0.1-5% HCI. HBr. Cl₂. H₂0 -temperatura 1100-1200 °C

Zalety; te same urządzenia, co do nanoszenia warstw epitaksjalnych krzemu Wady; małe szybkości, zanieczyszczenia (korozja aparatury)

Trawienie ionowo-plazmowe

Zastosowanie - teclmologie półprzewodnikowe, trawienie polimerów do metalizacji