Źródła elektronów muszą wytwarzać elektrony w takiej ilości, by po przyspieszeniu w wysokim napięciu można było ich wiązką oświetlić powierzchnię preparatu.
Jako źródła elektronów stosuje się działa elektronowe z żarzoną katodą (bezpośrednio bądź pośrednio) oraz działa z zimną emisją połową.