1629290355

ZASTOSOWANIA

CIŚNIENIE ABSOLUTNE    CIŚNIENIE WZGLĘDNE    NADCIŚNIENIE

( BAROMETRY		( SPADEK CIŚNIENIA )	{ CIŚNIENIE KRWI	)
( CIŚNIENIE OPON	J	("PRZEPŁYW POWIETRZA )	( POZIOM CIECZY	J
( KONTROLA SILNIKÓW	1	(UKŁADY KLIMATYZACJI J	(detekcja przecieków)

Rys. 3.1. Przegląd zastosowań czujników ciśnienia

3.1. Technologie wykonania

W dziedzinie pomiarów ciśnienia dominuje technologia piezorezystorów, stanowią one podstawę budowy większości współczesnych czujników ciśnienia. Do innych rzadziej spotykanych w przetwornikach inteligentnych technologii należą takie, jak: piezoelektryczna, pojemnościowa, reluktancyjna (pomiar oporu magnetycznego), optoelektryczna. W swojej pracy opiszę tylko technologie wykorzystującą piezorezystory. Współczesne półprzewodnikowe mikromechaniczne czujniki ciśnienia wykonywane są z monolitycznego krzemu (rys. 3.2.).

Rys. 3.2. Struktura płytki czujnika ciśnienia [16]