9965379466

12 P. Andralojć

Tabela 1

Porównanie PSI i VSI Comparison PSI and VSI

Typ	PSI	VSI
Światło	monochromatyczne	białe
Zakres*	160 nm	1 mm
Rozdzielczość pozioma	minimum 50 nm
Rozdzielczość pionowa	0,1-0,3 nm	1-3 nm
*Maksymalna wysokość nierówności możliwa do zmierzenia.

4. PROFILOMETRY

Dzięki zastosowaniu w profilometrach interferometrów laserowych, które odczytują wartości wychylenia końcówki pomiarowej w głowicy, uzyskano zwiększenie dokładności pomiarów. Dodatkowo, aby ograniczyć wpływ temperatury na urządzenie, stosuje się do ich konstrukcji materiały o niskim współczynniku rozszerzalności cieplnej, tzw. ZERODUR, a także łożyska ze specjalnego polimeru. Te wszystkie zabiegi konstrukcyjne pozwoliły uzyskać wyniki o niepewności na poziomie 1,3 nm w osiach X i Z. Przykładem tego typu urządzenia jest zbudowany przez Narodowe Labora-Rys. 10. NanoSurf IV - profllometr torium Fizyki w Wielkiej Brytanii NanoSurf IV zbudowany przez NPL [8] (rys. 10).

Fig. 10. NanoSurf IV - The profilo-meters was madę bv NPL T81

5. OCENA MOŻLIWOŚCI POMIARU NANOTOPOGRAFII

Na rynku pojawiają się coraz nowsze urządzenia do zastosowań w pomiarach nanometrycznych, np. COXI - połączenie interferometru laserowego z interferometrem rentgenowskim o rozdzielczości 0,192 nm. Jednak należy zdać sobie sprawę, gdzie znajduje się obecnie granica stosowalności w pomiarach topografii powierzchni części maszyn, pozwalająca wyodrębnić urządzenia o rozdzielczości przydatnej na razie tylko w fizyce i biologii. Dokonując wyboru, należy równocześnie zwrócić uwagę na rodzaj materiałów, które będą badane, a także na analizowany zakres chropowatości. Również czas potrzebny na wykonanie