Politechnika Wrocławska	Skład grupy ćwiczeniowej: Jagoda Michalewska	Wydział: Elektryczny Rok: 2011 Rok akademicki 2010/2011
LABORATORIUM PROCESÓW TECHNOLOGICZNYCH W PRZEMYŚLE
Data ćwiczenia: 14.04.2011.	Temat ćwiczenia: Parowanie próżniowe wiązką elektronową	Ocena:
Nr ćwiczenia 2		Podpis sprawdzającego:

I. Cel i zakres ćwiczenia:

Celem ćwiczenia jest:

• zapoznanie się ze zjawiskami zachodzącymi podczas procesu parowania próżniowego wiązką elektronową,

• wykonanie naparowania cienkiej warstwy cyny,

• wykonanie pomiaru rezystancji oraz wyznaczenie rezystywności otrzymanych próbek.

II. Opis sposobu wykonania ćwiczenia:

1. Przygotowanie i oczyszczenie próbek z tłuszczy i wody, za pomocą spirytusu.

2. Przeprowadzenie procesu wytworzenia próżni w sposób następujący-

rysunek 2:

• załączenie pompy obrotowej 1,

• wyłączenie odpompowania 3 i załączenie grzania pompy dyfuzyjnej 4,

• zamontowanie podłoży na karuzeli w komorze roboczej 6,

• opuszczenie komory roboczej i wyłączenie zaworu załączenie 2,

• po uzyskaniu próżni wstępnej p<10^-2Tr, wyłączenie 2, załączenie 3 oraz 5,

• Załączenie przycisku 2 i 3, po opuszczeniu komory roboczej

• Wyłączenie przycisku 2 i załączenie przycisków 3 4 i 5, po osiągnięciu próżni 5 * 10⁻² Tr,

• Wyłączenie zaworu klapowego 5, i zapowietrzenie komory – przycisk 7.

1. Wykonanie pomiaru rezystancji próbek ze szkła borokrzemowego.

III. Schemat układu do rozpylania magnetronowego:

Rysunek 1. Schemat ideowy układu próżniowego.

V. Spis przyrządów:

• wyrzutnia elektronowa nr inwent. 019/I-7/664/T/801,

• panel sterowania nr inwent. 019/I-7/664/T/141,

• próżnomierz nr inwent. 019/I-7/664/T/1091,

• przełącznik tablicowy nr inwent. I-7-IVh-670,

V. Wyniki pomiarów oraz przykładowe obliczenia:

Podłoże	R	ρ
	Ω	Ω
Szkło	7	94

Rezystywność próbki

$$\rho = R*\frac{2\pi}{\ln\left( \frac{d_{1}}{d_{2}} \right)},\ \text{gdzie}:$$

R – rezystancja zmierzona omomierzem

d₁, d₂ – średnica zewnętrznej i wewnętrznej elektrody pomiarowej

Przykład dla szkła:

$$\rho = 7*\frac{2\pi}{\ln\left( \frac{4}{2,5} \right)} = 94\ \mathrm{\Omega}$$

VII. Wnioski:

W przeprowadzonym ćwiczeniu uzyskana przez nas warstwa cyny posiadała mleczną barwę, była słabo utleniona, cienka, łatwo ścieralna, co wynikało ze zbyt szybkiego wyjęcia próbki z komory lub zbyt niskiej próżni.

Należy pamiętać, że jakość warstwy zależy od:

- wysokości próżni: im wyższa próżnia, tym czystszy materiał,

- gazów resztkowych: im mniej gazów tym lepiej,

- od sposobu przygotowania podłoża i rodzaju podłoża.

Rezystancja warstwy zależy od struktury materiału naparowanego, a struktura ta zależy od podłoża.

Aby polepszyć właściwości przyczepne podłoża, należy poddać go dokładnemu oczyszczeniu alkoholem.