Ośrodek czynny stanowią cząsteczki gazów szlachetnych lub ich halogenków, są one trw ale jedynie w stanie wzbudzonym (escited diiners). j Są to lasery impulsow e . o niew ielkich mocach od kilku do kilkuset W i niskich sprawnościach od 0.5° o do 1,5% Długość fali zaleZy od stosowanego ośrodka:
dla F;* długość fali: 152 nm (ekscymer) dla ArF* długość fali: 193 nm (ekscypleks) dla KrF' długość fali: 248 nm (ekscypleks) dla XeCr długość fali: 308 nm (ekscypleks) dla XeF* długość fali: 351 nm (ekscypleks) (gazbuforujący- gaz szlachetny,np neon)
Powszechnie stosuje slf lasery ekscymerowe i ekscypleksow ew medycynie.
Photo by komattil