IMGW46

35

czy kryształ). W warstw ach modulowanych występuje maki różnica odległości [nriędzypłaszczyznowych (< 3%) materiałów składowych w kierunku wzrostu. Za-I gewniona jest również koherencja strukturalna. natomiast często występuje in-terdy fuzja w obszarze konwiktowym.

L Podobnie jak dla warstw modulowanych, ultracicnkie koherentne układy wielowarstwowe składają się z obszarów typu: polikrystaliczny z teksturą (pojedynczy Jtiyształypołikrystaliczny z teksturą (pojedynczy kryształ). W przeciwieństwie do warstw modulowanych, występuje duża różnica odległości między płaszczyznowych (> 4%) materiałów składowych w kierunku wzrostu. Zapewniona jest kohe-rencja strukturalna, natomiast ze względu na dużą różnice odległości między płaszczyznowych oraz częste niedopasowanie struktur, mterdyfiizja w obszarze kontaktowym praktycznie nie występuje.

warstwa

modulowana

niekofaerentne

układy

wielowarstwowe

HHi

o o

oooooo

oooooo

oooooo

oooooo

oooooo

ultracienki

koherentny

układ

wielowarstwowy

oo5°°

oooooo oooooo oooooo oooooo oooo oo

009 09

oooooo

oooo:__

oooooo oooooo 000090 oooooo oooooo oooooo oooooo oooooo oooooo oooooo

900000

oooooo

Rys. 5.4 Schematyczny podział metalicznych sapersko: ć,. d₂ - grubości subwantw materiałów składowych; X (X = d₍ + dj) - długość fali modulacji warstwy wielokrotnej |3J

Niekoherentne układy wielowarstwowe składają się z obydwu obszarów amorficznych albo polikrystalicznych (nanokrystalicznych) bez tekstury, lub z kombinacji typu: amorficzny/polikrystaliczny (nanokrystaliczny) bez tekstury lub amorficzny (polikrystaliczny lub nanokry staliczny bez tekstury j/polikry staliczny z teksturą. Dla tego typu supersicci nie ma koherencji strukturalnej.

Dla większości metali, wzrost warstw następuje w sieci o takiej orientacji, że zapewniona jest maksymalna gęstość atomów w płaszczyźnie prostopadłej do kierunku wzrostu. Generalnie epitaksjalny wzrost supersieci składającej się z dwóch metali o różnych strukturach krystalograficznych jest również możliwy, jeżeli gęstość atomów w płaszczyznach prostopadłych do kierunku wzrostu jest podobna.

Przy dużej różnicy gęstości materiałów składowych (np. WW Co Ti. Co/Zr) bardzo trudno jest otrzymać warstwy z koherencją strukturalną w kierunku prostopadłym do podłoża. WW zawierające tego typu materiały tworzą najczęściej niekoherentne układy wielowarstwowe.