1&0

Błąd związany z tłem może być poprawiony przez zliczanie impulsów przez dłuższy czas, lecz jest to ograniczone stabilnością urządzeń oraz długością czasu zliczania. Piki, który są na granicy wykrywalności wymagają bardzo długiego czasu zliczania, aby były wiarygodne.

Rozdzielczość analizy składu chemicznego w mikroskopach skaningowych nie jest lepsza od lum. Jest ograniczona głębokością dyfuzji i zakresem oddziaływania elektronów. W transmisyjnym mikroskopie elektronowym rozdzielczość jest ograniczona grubością folii, ograniczającą rozprzestrzeniania nieelastycznego rozpraszania. Może być osiągnięta rozdzielczość 0,5-10nm.