1E5

Wiązka elektronów oddziałująca z powierzchnią próbki, generuje różne sygnały. Najczęściej wykorzystywanymi sygnałami są: elektrony wtórne, elektrony odbite i charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie

Pnmary beam

Charadensbc X-rays

Catnodołurronescenoo

(lflhO

Bremsstrahlung

X-ray$

Secondary

electrons

Backscattered

electrons

Transmitted electrons

Elasticalły scattered electrons

Augof electrons

Figurę 2-2. The interactions ofbeam electrons and sample atoms generale a variety of signals. The most commonly used signals are secondary electrons, hackscattered electrons, and characteristic X-rays.

Spedmen

cunrenl