1H0

Wtórne elektrony są kierowane do scyntylator Scyntylator przekształca elektrony do postaci fotonó światła i kieruje poprzez rurę do fotopowielac Fotopowielacz wzmacnia sygnał świetlny i z powr przekształca go do postaci sygnału elektronicz Detektor ET może pracować tylko w* próżni. W obe gazu ulega zniszczeniu.    ^J

Próbka - próbka stosowana w SEM musi być odpo oddziaływanie próżni, nie ulatniać się i odparow także musi przewodzić prąd.

Wiązka elektronów wprowadza znaczny lad próbki W materiałach przewodzących, ładunek poprzez próbkę do podłoża, na którym je umocowana. W izolatorach ładunek kumulu powodując lokalne zniekształcenia w emisji ele wtórnych, a w ekstremalnych przypadkach, u; samej wiązki elektronów, co wywołuje zniekształceni