1H1

Wtórne elektrony są kierowane ilo scyntylatora. Scyntylator przekształca elektrony do postaci fotonów światła i kieruje poprzez rurę do fotopowielacza. Fotopowielacz wzmacnia sygnał świetlny i z pow rotem przekształca go do postaci sygnału elektronicznego. Detektor ET może pracować tylko w próżni. W obecności gazu idega zniszczeniu.

Próbka - próbka stosowana w SEM musi być odporna na oddziaływanie próżni, nie ulatniać się i odparowywać, a także musi przew odzić prąd.

Wiązka elektronów wprowadza znaczny ładunek do próbki W materiałach przewodzących, ładunek płynie poprzez próbkę do podłoża, na którym jest ona umocowana. W izolatorach ładunek kumuluje się, powodując lokalne zniekształcenia w emisji elektronów wtórnych, a w ekstremalnych przypadkach, uginanie samej wiązki elektronów, co wywołuje zniekształcenia.