* Wytwarzanie warstw metody CVO prowadzi się w szczelnym reaktorze w temperaturze ok. 1000°C i przy ciśnieniu zbliżonym do atmosferycznego. Pary związków chemicznych metalu mającego stanowić podstawowy składnik warstwy trudnościeralnej tzn. tytanu, tantalu, aluminium, chromu lub boru reagują z węglem zna/dującym się na powierzchni powlekanego przedmiotu lub z innymi gazami znajdującymi się w atmosferze reaktora, głównie azotem lub tlenem.
Wysoka temperatura konieczna do przebiegu reakcji chemicznych wyklucza zastosowanie metody CVD do narzędzi wykonanych ze stak szybkotnących.
Technika CVD śluzy głównie do nanoszenia warstw na płytki z węglików spiekanych lub spiekanych materiałów ceramicznych, dla których wysoka temperatura nie powoduje utraty ich własności.