71958

71958



Laboratorium z Nauki o Materiałach II

Ćwiczenie 7: Osadzanie warstw metodą PA-CVD    2

bardzo istotnych zastosowań metody CVD jest modyfikacja powierzchni elementów urządzeń stosowanych w przemyśle narzędziowym i maszynowych. Stosowane są tu głównie warstwy diamentowa, diamentopodobne oraz warstwy węglików, azotków, borków, charakteryzujące się wysoką twardością, odpornością na zużycie mechaniczne (ścierne), a także dużą odpornością na erozję i działanie agresywnych ośrodków chemicznych w podwyższonych temperaturach.

Metoda chemicznego osadzania z fazy gazowej jest również skuteczną metodą modyfikacji materiałów ceramicznych poprzez infiltrację, czyli wypełnienie pustych przestrzeni w tych materiałach. Technikę infiltracji z fazy gazowej stosuje się głównie do impregnacji kompozytów zbrojonych włóknami, np. nasycania wiązki włókien materiałem ceramicznym np, SiC, w wyniku czego tworzy się kompozyt włóknisty o osnowie z węglika krzemu. Infiltracja z fazy gazowej stosowana jest głównie do zagęszczania porowatego grafitu azotkiem lub węglikiem krzemu. Proces infiltracji w tym przypadku wpływa na wzrost odporności na utlenianie, wzrost wytrzymałości na zginanie, odporności na tzw. płynięcie grafitu w wysokich temperaturach (powyżej 1350° C). Warstwy materiałów ceramicznych, otrzymywane metodą CVD znajdują coraz szersze zastosowanie w medycynie. Szczególnie interesujące są tu warstwy azotku i węglika tytanu jako pokrycia na narzędzia chirurgiczne; warstwy azotku tytanu są także perspektywiczne dla modyfikacji powierzchni protez części ruchomych organizmów żywych.

Charakterystyka układu do otrzymywania warstw metodą CVD

Układ, w którym zachodzi chemiczne osadzanie z fazy gazowej składa się z trzech zasadniczych części: układu dozującego gazowe reagenty, reaktora oraz układu utylizującego gazy poreakcyjne.

Rys.l. Schemat blokowy układu do nanoszenia warstw m etodą CVD.



Wyszukiwarka

Podobne podstrony:
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 7: Osadzanie warstw metodą
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 1: Badanie upakowania modelowych proszków, symulacje
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 2. Zastosowanie diagramów trójskładnikowych w analiz
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 3: Spiekanie w fezie stałej - model kulek szklanych
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 4: Spiekanie w fazie stałej - kinetyka spiekania ZnO
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 5: Modelowanie procesów upakowania ziaren (Wprowadze
Laboratorium z Nauki o Materiałach II Ćwiczenie 6: Zwilżanie powierzclmi ciała stałego przez
40880 Zdjęcie0213 (5) LABORATORIUM Z WYTRZYMAŁOŚCI MATERIAŁÓW (II ROK BUDOWNICTWA - ST. DZIENNE) I.
skanowanie0004 (183) Materiały do ćwiczeń z ogrzewnictwa warstw znajdujących się między warstwą powi
ceramika6 Laboratorium z nauki o materiałach Jeżeli takie elementy struktury dała stałego byłyby ni
ceramika8 Laboratorium z nauki o materiałach W kryształach, które nie mają dwu osi krystalograficzn
ceramika0 Laboratorium z nauki o materiałach Rys. 4.5. Zależność współczynnika liniowej rozszerzaln
ceramika2 r Laboratorium z nauki o materiałach r Laboratorium z nauki o materiałach • V- c.-. mater
ceramika4 Laboratorium z nauki o materiałach Literatura [1]    Technologia szkła. Wa
ceramika6 Laboratorium z nauki o materiałach 5.    Pokrętło zerowania miernika (1) (
ceramika8 Laboratorium z nauki o materiałach 2.    Jaki skutek dla dokładności pomia
INSTRUKCJE DO ZAJĘĆ LABORATORYJNYCH NAUKI O MATERIAŁACH ADAM HERNAS, BOŻENA SZCZUCKA-LASOTA

więcej podobnych podstron