spektroskopia039

78

Rys. 42. Zależność współczynnika odbicia od energii fotonów dla fosforku cynku — Zn₃P₂ w obszarze podstawowych drgań sieci [23]

Tabela 4. Energie fononów Zn₃P₂ (w cm ’) wyznaczone z widma odbicia zmierzo nego w temperaturze 10 K

Nr	1	2	3	4	5	6	7	8
TO	46,5	62	71	77	87,5	104	110,5	170
LO	58,5	63,7	71,5	78	94	105,5	112,5	172
Nr	9	10	11	11	13	14	15	16
TO	184	243	285	301,5	312,5	331,5	340	354
LO	186	274	309,5	301,5	323	333	348,5	363

zmierzone w funkcji temperatury. Analiza tego widma metodą opisaną w rozdz. 7 pozwoliła wyznaczyć energie podstawowych optycznych drgań drgań sieci tego związku. Wyniki zestawiono w tab. 4.

Spektroskopia fourierowska może być także wykorzystywana do wyznaczania koncentracji, masy efektywnej, ruchliwości, a także grubości struktur wielowarstwowych [20],

Kontrola obecności niezwykle ważnych domieszek w podłożach krzemowych, tj. węgla i tlenu, może być prowadzona za pomocą pomiarów absorpcji w zakresie średniej podczerwieni. W zakresie energii fal 400—1600 cm^-1, oprócz przejść wielofononowych (rys. 36), obserwuje się maksima związane z obecnością atomów tlenu i węgla w krzemie. Szczególnie silny jest proces absorpcji dla energii 1107 cm^-1 związany z ąuasi-molekulą Si0₂ występującą w krzemie oraz druga linia związana z tlenem dla energii 515 cm^-1. Obecność węgla prowadzi do wystąpienia absorpcji dla energii 607 cm^-1. Intensywność tych linii jest miarą koncentracji tych atomów w krzemie i jest stosowana podczas charakteryzacji podłoży krzemowych [20].