15824 PIC 0207

gagwfttudb onAnuma. Bfaa    —nfrjj iTiTttfifak

rozbudowywać. GenecaŁiłe w jego •sŁład wdiodzi; Isocooca icakcy^na, uchwyt manipulacyjny tarczy, uchwyt do -wsadu z możliwym systemem do grzania, pompy, system przepływu -wprowadzanego gazu, rruermki

próżniowe i ewentualnie filtr ccąstek.

Koniora reakcyjna stanowi tłn^ ^ńnmj Atm-nt tłwŁ Wa-n W metodzie PLD-Jest to zamknięta komora próżniowa wyposażona w system: pomp do wprowadzenia gazów, zaworów otaz okna do obserwacji wiązki laserowej. W komorze zainstalowany jest uchwyt odparowywanej tarczy, uchwyt podłoża (wsadu) otaz może znajdować się filtr dla raytelc. Przewidując nagrzewanie lub chłodzeniewsadu, winien znajdować się w komorze specjalny, zapewniający to układ \1J n>flpgtnói optycznych elementów w komorze przedstawiono na rys. 5 są one zależne od: gęstości energii, ciśnienia w komorze, morfbłogp tarczy odparowywanej.