Jako pompy próżni owe stosowane są pompy tłokowe, łopatkowe rotacyjne, pompy z pierścieniem cieczowym. Pompy tłokowe stosowane jako pompy próżniowe różnią się od zwykłych pomp rozrządem. Stosowany jest zamiast zaworów samoczynnych rozrząd suwakowy. Zbyt małe różnice ciśnień w obszarze zassania, występujące w pompach próżniowych nie wystarczają do przyspieszenia samoczynnych zaworów. Przymusowo napędzany suwak otwierając przewody we właściwym czasie powoduje znikome straty ciśnienia. Wyjaśnia
rjiirihv/r>h —^ .........——-1—^