Mikrofale z górnego zakresu mogą powstawać w elektronicznych układach drgających podobnie jak fale radiowe (i dlatego dość często zalicza się je do fal radiowych nie wyszczególniając osobno).
Sposobów generacji mikrofal:
a) lampy mikrofalowe: klistrony, karcinotrony i magnetrony (dwuelektrodowa lampa elektronowa umieszczona w polu magnetycznym gdzie opóźniane elektrony krążąc w polu magnetycznym po spiralach emitują mikrofale).
b) źródła mikrofal z wykorzystaniem półprzewodników: generator Gunna, diody lawinowe, tranzystory bipolarne i połowę