układ soczewek skupiających
działo jonów
próbka
działo niskoenergelycznych elektronów
* Działo jonowe —
pozwala na „ścieranie" kolejnych powłok próbki i analizę głębiej położonych warstw|
■ Działo
i u okoenergets czn> eh elektronów - pozwala skompensować wytwarzający się w trakcie pomiani dodatni ładunek próbki.