2210689401

5

5

Wiązka elektronów pierwotnych

~10 nm i i Elektrony wtórne (SE

1-2 pm l—l Elektrony wstecznie rozproszone (BSE)

Charakterystyczne promieniowanie

2    5 _im rentgenowskie

Rysunek 3. Obszary emisji poszczególnych sygnałów z objętości próbki.

Elektrony odbite - wstecznie rozproszone (BSE) ang. backscattered electrons Są to elektrony odbite od atomów próbki wskutek zderzeń sprężystych z jądrami atomowymi, mające energie prawie identyczną z energią elektronów pierwotnych. Elektrony odbite emitowane są z większej głębokości próbki i znacznie większej średnicy niż wiązka pierwotna stanowiąc ok. 3 % wszystkich elektronów emitowanych. Obraz pochodzący od elektronów odbitych ma gorszą zdolność rozdzielczą niż elektronów wtórnych a kontrast zależy od liczby atomowej pierwiastków, tzn. wraz ze zwiększaniem się liczby atomowej pierwiastka, liczba elektronów ulegających wstecznemu rozproszeniu rośnie.

(SE)    (BSE)

Rysunek 4. Obrazy próbki uzyskane z elektronów wtórnych (SE) - lewy i z elektronów odbitych (BSE) - prawy.