specjalnych metod korekcyjnych ze względu na szereg zjawisk zachodzących w materiale w konsekwencji oddziaływania wzbudzonego promieniowania rentgenowskiego z atomami próbki (absorpcja promieniowania w materiale, fluorescencja, liczba atomowa mająca wpływ na wydajność wzbudzenia promieniowania). Wszystkie te zjawiska uwzględniane są w metodzie korekcyjnej nazywanej popularnie ZAF. Nowoczesne oprogramowanie pozwala na wykonanie tzw. analizy bezwzorcowej, gdzie program komputerowy generuje wszystkie wartości potrzebne do obliczeń. Należy jednak pamiętać, że metoda bezwzorcowa daje poprawne wyniki tylko dla materiałów litych niezawierających pierwiastków lekkich.
Rysunek 6. Widmo EDS (spektogram).
Mapy rentgenowskie
Charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie jest wykorzystywane do otrzymywania map rozkładu stężenia pierwiastków (ang. mapping). Wiązka analityczna skanuje analizowany obszar punkt po punkcie. Spektrometr jest ustawiany tak, aby rejestrował punkt na analizowanym obszarze, gdy wykryje impuls rentgenowski o energii charakterystycznej dla danego pierwiastka. W ten sposób powstaje mapa odwzorowująca rozmieszczenie tego pierwiastka w badanym obszarze. Nowoczesne systemy EDS potrafią utworzyć kolorowe mapy w odpowiednich odcieniach, pokazujące względną intensywność impulsu w każdym punkcie. Wymaga to jednak zastosowania wystarczająco długiego czasu postoju wiązki w każdym punkcie analitycznym. Podczas jednego przebiegu wiązki analitycznej można zarejestrować mapy rozkładu dla kilkunastu pierwiastków.