A zatem istnieje możliwość określenia gęstości ładunku przestrzennego poprzez procedurę dekonwolucji, jeśli AT jest znane. Jednakże ze względu na niedokładność procedury dekonwolucji nie jest możliwe otrzymanie jednoznacznego rozwiązania dla qx(x) lub Pi(x). W idealnych warunkach możliwe jest uzyskanie tylko 5 do 10 przestrzennych współczynników Fouriera dla rozkładu ładunku przestrzennego. Biorąc pod uwagę błędy pomiarowe odpowiedzi napięciowej, dokładnie można wyznaczyć tylko kilka współczynników Fouriera. Z dyskusji w [54] wynika, iż dla dokładności pomiaru AVrzędu 0,1 % tylko od 3 do 9 współczynników (rzeczywista ilość współczynników zależy od lokalizacji chmury ładunku w dielektryku) może być znaleziona. Podobne problemy występują podczas pomiarów rozkładu polaryzacji w dielektrykach polarnych. Wtedy należy uwzględnić wzór dotyczący ładunku polaryzacyjnego. Dwa wzory opisujące ładunek przestrzenny i polaryzację sugerują, że istnieje możliwość określenia albo rozkładu przestrzennego ładunku albo polaryzacji.
Dokładniejsze rozważania pokazują, że równanie (3.4) można rozważyć osobno w przypadku istnienia ładunku i/lub polaryzacji. Biorąc pod uwagę ładunek przestrzenny napięcie biegu jałowego wyraża się zależnością [55]:
(3.5)
natomiast dla polaryzacji (3.6)
Rozważania pokazują jedynie przypadki, w którym jednoznacznie wiadomo, że w badanym materiale jest rzeczywiście rozkład ładunku przestrzennego lub polaryzacja.
Rozdzielczość jest największą z wad metody TPM. Można pokusić się
0 stwierdzenie, iż rozdzielczość metod termicznych pozostawia wiele do życzenia, dodatkowo zależy od głębokości analizowanego obszaru próbki [66], W metodzie TPM występują takie same problemy, najwyższą rozdzielczość można uzyskać jedynie w obszarze przyelektrodowym. W tym obszarze rozdzielczość metody jest określona ale
1 ograniczona czasem trwania impulsu termicznego tp. Amjadi z współpracownikiem uzyskał maksymalną rozdzielczość na poziomie 11 nm stosując laser Nd:YAG o czasie trwania impulsu 70 ps [56],
18