5796574323

MEMS

lab

W projekcie AutoCAD mikromechanicznego czujnika ciśnienia należy zatem przyjąć, że:

•    struktura czujnika wykonana jest w podłoży krzemowym o orientacji krystalograficznej (100) stosując mokre anizotropowe trawienie krzemu,

•    powierzchnia membrany wynosi 1,0 x 1,0 mm²,

•    grubość membrany 50 pm (wartość początkowa do symulacji).

Uwaga: Prowadzący może indywidualnie zmienić wymiary membrany krzemowej.

2.    Symulacja.

Przeprowadzenie poprawnej symulacji wymaga:

•    wybrania odpowiedniego modułu do symulacji,

•    zaimportowania z pliku DXF zaprojektowanej struktury - modelu,

•    określenia materiału, z jakiego zbudowany jest model,

•    określenia warunków brzegowych,

•    zadania odpowiedniej siatki - podział modelu na trójkąty (do obliczeń wykorzystywana jest metoda elementów skończonych),

•    umiejętna prezentacja wyników.

Zadaniem realizującego ćwiczenie jest wykonanie kilkunastu symulacji gdzie parametrem będzie siła działająca na membranę krzemową przy jej stałej grubości.

3.    Prezentacja wyników.

Realizujący ćwiczenie przygotowuje zwarty raport, w którym zawarty jest cel ćwiczenia, krótki opis modelowanego obiektu oraz wyniki modelowania w formie obrazów graficznych 2D i 3D, przekrojów i wykresów.

www.memslab.pl