Wiązka cząstek padających - np. elektronów:
• równoległa,
• skupiona na małym obszarze
• monoenergetyczna
• o stałym (ale możliwym do zmiany) natężeniu
• natężenie powinno być wolnozmienne wraz ze zmianami energii
Detekcja cząstek desorbowanych
• rozdzielczość masowa
• transmisyjność
• zakres mas
• próg sygnału