1629290362

różnego rodzaju sygnałów fizycznych, gdzie mierzone przez nie wartości mogą być stosowane w celu korekcji błędów głównego sygnału pomiarowego. Istnieją też projekty wykorzystujące matryce zbudowane z czujników różnego rodzaju sygnałów, mające na celu pomiar i analizę bardziej złożonych zagadnień (np. biosensory).

1.1. Technologie półprzewodnikowe

Jednym z głównych trendów w technice pomiarowej jest miniaturyzacja czujników, która w ramach rozwiązań półprzewodnikowych, wiąże się z stosowaniem mikrostruktur krzemowych nazywanych w literaturze MST (Micro System Technology) albo MEMS (Micro-Electrical-Mechanical Systems) [4], Równie ważną tendencją jest integracja wszystkich elementów logicznych, mechanicznych i elektrycznych w ramach jednego układu (ang. SoC - System on Chip). Historia czujników zintegrowanych sięga końca lat 60. ubiegłego wieku i z początku dotyczyła opracowanej przez firmę Honeywell metody produkcji piezorezystancyjnych krzemowych struktur czujników ciśnienia. Pierwszy zintegrowany czujnik ciśnienia z cyfrowym wyjściem został skonstruowany i przetestowany w 1971r. [47]. Konstruktorzy zamierzali wykorzystać ten układ do zastosowań medycznych, ale pierwsze zastosowanie znalazł w przemyśle lotniczym, gdzie służył do pomiarów ciśnienia w samolotach firmy Douglas.

Podstawowa skłonność w technologii wymaga produkcji masowej przy zachowaniu niskich kosztów produkcji, jednocześnie zmusza do opracowania metod łączenia w układach elektronicznych, materiałów o różnych właściwościach, nie tylko krzemu i metalu, ale coraz częściej ceramiki, plastiku, a nawet substancji biochemicznych.

9