3725451772

Rozdział 18

Rys.2. Zestawy pomiarowy do testowania czujników chemicznych: a) układ do pomiarów w układzie statycznym, b) układ do pomiarów w układzie przepływowym.

3. GŁOWICA POMIAROWA MINIATUROWYCH CZUJNIKÓW CHEMICZNYCH

Opracowano i opatentowano nową głowicę wieloczujnikową do pomiarów w układzie przepływowym [24], która początkowo była przeznaczona dla miniaturowych tranzystorów polowych typu ISFET, ale dalsze prace konstrukcyjne umożliwiły wykorzystanie jej do pomiarów z wykorzystaniem wielu typów miniaturowych czujników chemicznych opracowanych w zespole badawczym z Wydziału Chemicznego Politechniki Warszawskiej (rys. 3).

Rys. 3. Widok głowicy przepływowej: a) implanty; b) krociec wlotowy; c) o-ring umieszczony w implancie; d) zamontowany czujnik; e) otwór wylotowy; f) kanały doprowadzające (rozdzielające się promieniście).