Wiązka padająca
Promieniowanie X (informacja o składzie)
Katodoluminescencja (inforamacja elektryczna)
Elektrony Augera (inforamcja o składzie)
Elektrony rozpraszane wstecznie (liczba atomowa i informacja topologiczna)
Elektrony wtórne (informacja topograficzna)
Prąd preparatu (inforamcja elektryczna)
W skutek bombardowania powierzchni preparatu następuje emisja fotonów i elektronów. Mikroskopy na ogół wyposażone są w układy detekcji elektronów wtórnych, elektronów rozproszonych wstecznie oraz promieniowania rentgenowskiego.