PODSTAWY TECHNIK WYTWARZANIA
ELEMENTÓW I PRZYRZ
DÓW PRECYZYJNYCH
TECHNOLOGIA MIKROSYSTEMÓW
TECHNOLOGIA MIKROSYSTEMÓW
Wydział Mechatroniki
Instytut Inżynierii Precyzyjnej i Biomedycznej
LK/2007
1
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Mikrosystemy są to zintegrowane układy realizujące
funkcje mechaniczno-elektroniczne (MEMS) lub
mechaniczno-elektroniczno-optyczne (MEOMS).
Skrót pochodzi z nazwy angielskiej:
Mechanical-Electronic-Optical-Micro-Systems.
Początek stosowania mikrosystemów datowany jest
na lata 80te XX wieku. Dynamiczny rozwój na stąpił
w kolejnych dwu dekadach. Obecnie są stosowane
w wielu urządzeniach powszechnego użytku oraz do
celów profesjonalnych. Technika mikrosystemów
wywodzi się głównie z technologii mikroelektroniki.
LK/2007
2
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Akcelerometr - miernik przyspieszeń. Zawiera mikrouk-
ład elektroniczny oraz elementy mikromechaniczne.
LK/2007
3
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Czujnik ciśnienia. Z lewej widoczne mikrostruktury
(microchips) przygotowane do montażu w obudowach.
LK/2007
4
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Mikrostruktury grzebieniowe. Z lewej mikrochwytak, z
prawej pozycjoner elektrostatyczny.
LK/2007
5
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Mikrostruktury. Z lewej mikroreaktor płynowy, z prawej
miniaturowa pompa zębata.
LK/2007
6
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Mikrostruktury. Z lewej mikroturbina, z prawej
mikroelement optyczny - zwierciadło.
LK/2007
7
TECHNIKA LIGA
TECHNIKA LIGA
LK/2007
8
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
MIKROSYSTEMY (MEMS, MEOMS)
Mikrostruktury wykonane w technice LIGA. Z lewej
miniaturowe koła zębate, z prawej przekładnia.
LK/2007
9
TRAWIENIE KRZEMU
TRAWIENIE KRZEMU
Wafel monokryształu Si o średnicy 150 mm
i grubości 0,5 mm.
LK/2007
10
TRAWIENIE KRZEMU
TRAWIENIE KRZEMU
LK/2007
11
TRAWIENIE KRZEMU
TRAWIENIE KRZEMU
Powiększenie siatki otworów - ciemne pola
oznaczają brak otworów.
LK/2007
12
TRAWIENIE KRZEMU
TRAWIENIE KRZEMU
Fragmenty siatki otworów o średnicy 40 �m.
LK/2007
13