Osadzanie z fazy gazowej

Osadzanie z fazy gazowej jest jednym ze sposobów otrzymywania nanomateriałów, w szczególności nanokryształów.

W komorze próżniowej odparowywany jest materiał, z którego zamierza się otrzymać nanokryształy. Przy zderzeniach atomu metalu (M) z atomami gazu szlachetnego (He), atomy metalu kondensują w postaci drobnych cząstek na ściankach zimnego tygla chłodzonego ciekłym azotem. Otrzymany proszek jest następnie prasowany na zimno i spiekany.

Rys. Schemat komory do osadzania z fazy gazowej w warunkach ultra wysokiej próżni (UHV): a) oporowo grzane źródło parowania, b) „zimny palec”, c) napęd skrobaka, d) skrobak, e)komora do prasowania proszków, f) stempel, g)matryca do prasowania, h) śluza do wyjmowania wypraski

Źródło: M. Jurczyk: „Nanomateriały”

W tabeli poniżej przedstawiono zależność wielkości ziaren nanokrystalicznego Pd otrzymanego metodą osadzania z fazy gazowej od temperatury.

T parowania (K)	T prasowania (K)	Wielkość ziaren, d (nm)
1670	450	25- 30
1670	300	11- 15

Zaobserwowano wzrost wielkości ziarna przy wzroście temperatury prasowania

Źródło:

Gleiter H. „Nanocrystalline materials”, Progress In Materials Science, 33, 1990, s. 223- 315.

Metody osadzania z fazy gazowej można podzielić na:

• CVD

• PVD

• techniki oparte na procesie pirolizy