super sprawko czujniki mems

Sprawozdanie

Laboratorium PMEMS

Temat: Badanie czujników przyspieszenia ADXL.


  1. Cel ćwiczenia

Celem ćwiczenia było zbadanie charakterystyk dwóch czujników przyspieszenia - ADXL322 oraz ADXL213.

  1. Opis czujników

Specyfikacja techniczna:

ADXL322
Parametr
Zakrez pomiarowy
Nieliniowość
Błąd osiowania
Czułość dla Xout i Yout przy 3V
Zależność czułości od temp.
Napięcie na Xout i Yout dla 0g
Częstotliwość rezonansowa czujnika
Zasilanie
Prąd spoczynkowy zasilania
Temperatura pracy
ADXL213
Parametr
Zakrez pomiarowy
Nieliniowość
Błąd osiowania
Czułość dla Xout i Yout przy 5V
Zależność czułości od temp.
Wypełnienie Xout i Yout dla 0g
Odchylenie wskazania 0g od idealnego
Częstotliwość rezonansowa czujnika
Zasilanie
Prąd spoczynkowy zasilania
Temperatura pracy

Budowa:

Centralna ruchoma belka (masa sejsmiczna) tworzy wraz z nieruchomymi belkami strukturę grzebieniową składającą się z 46 kondensatorów. Ruchoma belka jest jednocześnie ruchomą okładką w strukturze kondensatora różnicowego, który utworzony jest przez odpowiednie połączenia elektryczne belek struktury grzebieniowej.

Belka jest wychylana z położenia równowagi przez siły bezwładności (przyspieszenia). Napięcia przyłożone do dolnej i górnej elektrody mają kształt prostokątny i są przesunięte w fazie o 180 stopni. Gdy elektroda środkowa jest w położeniu równowagi (obie pojemności równe) sygnał wyjściowy Vout=0. Wychylenie się elektrody spowoduje „rozrównoważenie” układu i pojawienie się na wyjściu napięcia. Napięcie to, w dalszych blokach jest odpowiednio filtrowane, wzmacniane i demodulowane.

  1. Przebieg ćwiczenia

Czujnik ADXL322 podłączyliśmy do zasilania i wejść karty oscyloskopowej. Płytkę z czujnikiem umieściliśmy pionowo/poziomo na ramieniu kątomierza (w zależności od tego, czy badaliśmy rotację pionową czy poziomą) tak, aby oś x była równoległa do ramienia. W trakcie ćwiczenia zmienialiśmy kąt położenia ramienia co 10 stopni w zakresie 0-90 i zapisywaliśmy wartości napięcia w tabeli. Za pomocą programu napisanego w LabVIEW rejestrowaliśmy przebieg sygnału na wyjściu z czujnika – zmiany napięcia w zależności od położenia kątowego.

Pomiary dla czujnika ADXL213 zostały przeprowadzone analogicznie do czujnika ADXL322.

  1. Pomiary i obliczenia

Rotacja pionowa czujnika AXDL322
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Rotacja pionowa czujnika AXDL322 – obliczenia
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

Rotacja pozioma czujnika ADXL322
nr ϑ
[deg]
1 0
2 10
3 20
4 30
5 40
6 50
7 60
8 70
9 80
10 90
Rotacja pionowa czujnika AXDL213
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Rotacja pozioma czujnika AXDL322 – obliczenia
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

Rotacja pionowa czujnika AXDL213
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Rotacja pionowa czujnika AXDL213 - obliczenia
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

Rotacja pozioma czujnika AXDL213
nr ϑ T1x T1y
[deg] [ms] [ms]
1 0 const. 0,836
2 10 const. 0,917
3 20 const. 0,991
4 30 const. 1,06
5 40 const. 1,13
6 50 const. 1,19
7 60 const. 1,24
8 70 const. 1,28
9 80 const. 1
10 90 const. 1,3
Rotacja pozioma czujnika AXDL213 – obliczenia
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

Rotacja pozioma czujnika AXDL213
nr
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
  1. Wnioski

Czujnik ADXL322 ma widocznie mniejszy błąd pomiaru w stosunku do czujnika ADXL213 co może dziwić, biorąc pod uwagę fakt, że czujnik ADXL213 ma wyjścia cyfrowe, a ADXL322 wyjścia analogowe.

Uzyskane charakterystyki nie są idealnie liniowe, są przeważnie S-kształtne, jednak należy wziąć również pod uwagę fakt, że nasze pomiary obarczone są bardzo dużym błędem (nie mocowaliśmy czujnika plasteliną, tylko trzymaliśmy go ręką, oparty o kątomierz). Błędy pomiarowe widać już zresztą na pierwszym wykresie przyspieszenia w funkcji kąta dla rotacji pionowej czujnika ADXL322.

Przy badaniu rotacji pionowej czujnika ADXL322 pomijając środkową część wykresu spowodowaną znacznym błędem pomiarowym widzimy, że charakterystyka jest względem siebie odwrotnie proporcjonalne – gdy x rośnie to y maleje. Spowodowane jest to budową czujnika – gdy okładki kondensatora zbliżają się do siebie w osi x, jednocześnie oddalają w osi y.


Wyszukiwarka

Podobne podstrony:
sprawko czujnik naprężenia z siatką Bragga
Sprawko czujniki
Sprawko MEMS przyspieszenie
02 czujniki, systematyka, zastosowania
SUPER DUPER
czujniki2
mikro wykresy super
Marvel Super Heroes Gates of What If Castle Doom Map
El sprawko 5 id 157337 Nieznany
LabMN1 sprawko
Czujniki temperatury cieczy chłodzącej
5 Czujniki Podrecznik PL
Czujniki przemieszczeń kątowych
czujnik cisnienia spalin
Czujniki położenia pedału przyspiesznika
Elektroniczny termometr z czujnikiem Pt100
Aktywny,2 przewodowy czujnik temperatury
Patch KRISS Super V

więcej podobnych podstron