Numer grupy |
Imię i nazwisko
|
Data |
9a
|
Temat ćwiczenia Interferencyjne pomiary długości i kąta. |
Ocena |
Wyniki pomiarów interferometrem laserowym LIMS-1.
Zestawienie wyników pomiarów dokonywanych interferometrem przy przemieszczeniu mechanizmu nastawczego badanego stołu pozycjonującego co 1,000 mm.
|
Seria I |
Seria II |
Wartość nominalna [mm] |
Wartość zmierzona [mm] |
Wartość zmierzona [mm] |
0 |
0 |
0.007 |
1 |
0,9997 |
1,0007 |
2 |
1,9987 |
1,9996 |
3 |
2,9993 |
3,0006 |
4 |
3,9994 |
3,9990 |
5 |
4,9986 |
4,9989 |
6 |
5,9995 |
5,9996 |
7 |
6,9998 |
6,9991 |
8 |
7,9993 |
8,0003 |
9 |
8,9996 |
8,9997 |
10 |
10,0001 |
9,9992 |
11 |
10,9995 |
10,9996 |
12 |
12,0006 |
11,9994 |
13 |
13,0000 |
13,0000 |
14 |
13,9999 |
13,9996 |
15 |
15,0017 |
15,0006 |
16 |
16,0016 |
16,0012 |
17 |
17,0018 |
17,0012 |
18 |
18,0013 |
18,0015 |
19 |
19,0013 |
19,0015 |
20 |
20,0014 |
20,0014 |
21 |
21,0017 |
21,0006 |
22 |
22,0007 |
22,0007 |
23 |
23,0014 |
23,0007 |
24 |
24,0008 |
24,0009 |
25 |
25,0007 |
25,0007 |
b) zestawienie wyników pomiarów interferometrem w środkowym zakresie pomiarowym mechanizmu przemieszczeń badanego stołu, dokonywanych, co 0,05 mm.
|
Zmiana wartości nastawienia 5-6 mm |
Wartość nastawienia 5-6 mm |
||
|
Wartość |
Błąd |
Wartość |
Błąd |
5. |
0 |
|
0.0003 |
|
5.05 |
0.0515 |
|
0.0515 |
|
5.1 |
0.1007 |
|
0.1023 |
|
5.15 |
0.1509 |
|
0.1548 |
|
5.2 |
0.2003 |
|
0.2033 |
|
5.25 |
0.251 |
|
0.2511 |
|
5.3 |
0.302 |
|
0.3095 |
|
5.35 |
0.3503 |
|
0.3522 |
|
5.4 |
0.4012 |
|
0.4012 |
|
5.45 |
0.4501 |
|
0.4522 |
|
5.5 |
0.507 |
|
0.5017 |
|
5.55 |
0.5512 |
|
0.5521 |
|
5.6 |
0.6019 |
|
0.602 |
|
5.65 |
0.6521 |
|
0.6521 |
|
5.7 |
0.7026 |
|
0.7022 |
|
5.75 |
0.752 |
|
0.7521 |
|
5.8 |
0.8565 |
|
0.8025 |
|
5.85 |
0.8525 |
|
0.8522 |
|
5.9 |
0.9025 |
|
0.9025 |
|
5.95 |
0.9522 |
|
0.9528 |
|
6 |
1.002 |
|
1.002 |
|
Schematy interferometru do pomiarów długości i kąta.
Układ interferencyjny do pomiaru kąta różni się tym od układu do pomiaru długości, że zastosowano dodatkowe zwierciadło i pryzmat. W układzie tym wiązka promieniowania również zostaje podzielona na wiązkę odniesienia i wiązkę pomiarową. Wiązka pomiarowa odbija się od reflektora, natomiast wiązka odniesienia odbija się od dwóch zwierciadeł i trafia do pryzmatu z skąd powraca tą samą drogą poprzez dwa zwierciadła i styka się z wiązką odbitą od reflektora i w tym miejscu występuje interferencja fal świetnych. Następnie tak jak w układzie poprzednim fale są zmieniane na impulsy i zliczane (odejmowane) a później przeliczane na przemieszczenia kątowe.