Wyznaczenie bariery potencjału na kontakcie metal - półprzewodnik
Wstęp teoretyczny
W złączu metal-półprzewodnik występuje bariera potencjału. W półprzewodniku typu n poziom Fermiego jest wyżej niż w metalu, jest to stan nierównowagowy. W wyniku połączenia elektrony z półprzewodnika spłyną do metalu aż poziom Fermiego się wyrówna. W obszarze złącza półprzewodnik naładuje się dodatnio, a metal ujemnie. Powstanie wówczas między nimi różnica potencjałów, a więc pole elektryczne E0. Odpowiada mu bariera potencjału. W złączu m-s w stanie równowagi termodynamicznej płyną prądy elektronowe: z metalu do półprzewodnika - Jm-s i równoważący od półprzewodnika do metalu - Js-m . Polaryzując metal dodatnio, a półprzewodnik (n) ujemnie polaryzujemy całe złącze w kierunku przewodzenia, bo pole zewnętrzne będzie miało zwrot przeciwny do E0 więc bariera potencjału obniży się i popłynie duży prąd Js-m. Analogicznie odwrotnie polaryzując metal i półprzewodnik polaryzujemy złącze w kierunku zaporowym, bo bariera potencjału rośnie, a prąd Js-m jest mały. Wypadkowy prąd płynący przez złącze metal - półprzewodnik zmienia się w funkcji napięcia polaryzującego następująco:
J = Js (e qV/kT - 1)
gdzie
jest nazywany prądem nasycenia, A* jest efektywną stałą Richardsona, k - stałą Boltzmanna i T - temperaturą. Rzeczywista charakterystyka I-V dla złącza M-S ma postać:
J = Js (e qV/nkT - 1)
W obszarze złącza mamy do czynienia z obecnością nieruchomego ładunku przestrzennego, podobnie jak w obszarze między okładkami naładowanego kondensatora. Jeśli potraktujemy złącze M-S jako kondensator, w którym odległość W między okładkami, równa jest szerokości warstwy tego ładunku przestrzennego, to można pokazać, że zależność między W a potencjałem wbudowanym Vbi jest następująca:
Pojemność złącza C przypadająca na jednostkę powierzchni s wyrażać się będzie wzorem:
Tak więc z pomiarów charakterystyki C-V złącza M-S można wyznaczyć koncentrację donorów ND oraz potencjał wbudowany Vbi. Znając koncentrację donorów ND można wyznaczyć Vn:
Vn=
Znając Vbi oraz Vn można wyznaczyć barierę potencjału widzianą przez elektrony od strony metalu:
Cel ćwiczenia
W ćwiczeniu wykonuje się pomiary charakterystyki I-V oraz charakterystyki C-V dla kontaktu prostującego metal - półprzewodnik (M-S) i na podstawie tych pomiarów wyznacza się barierę potencjału
. Na rys. 1 przedstawiono schemat układu do pomiaru charakterystyk prądowo-napięciowych. W celu wykonania pomiarów charakterystyk pojemnościowo - napięciowych badaną diodę należy podłączyć do wejścia mostka pojemności. Mostek BOONTON umożliwia polaryzację złącza.
Rys.1.Układ do pomiaru charakterystyk I-V diody metal-półprzewodnik
Wyniki pomiarów
Wzory i jednostki
S = 2,26x2,26[mm2]= 0,0000051076 [m2]
T=300[K]
A*
2,5[A/cm2/K2 ]=25000[A/m2/K2]
k = 8,6*10-5 [eV/K]
m*/m0= 0,07 0 = 8,85*10-12 [F/m] S = 13
gdzie
[cm-3] =
Tabele pomiarowe
I [μA] |
V [V] |
|
I [μA] |
V [V] |
|
I [μA] |
V [V] |
|
C [pF] |
V [V] |
1 |
0,535 |
|
190 |
0,699 |
|
2100 |
0,752 |
|
1900 |
0,0 |
3 |
0,566 |
|
210 |
0,704 |
|
2200 |
0,753 |
|
1850 |
-0,1 |
5 |
0,580 |
|
230 |
0,709 |
|
2300 |
0,755 |
|
1815 |
-0,2 |
7 |
0,590 |
|
250 |
0,713 |
|
2400 |
0,756 |
|
1770 |
-0,3 |
9 |
0,597 |
|
270 |
0,717 |
|
2500 |
0,757 |
|
1735 |
-0,4 |
11 |
0,602 |
|
290 |
0,721 |
|
2600 |
0,759 |
|
1692 |
-0,5 |
13 |
0,607 |
|
310 |
0,725 |
|
2700 |
0,760 |
|
1654 |
-0,6 |
15 |
0,612 |
|
330 |
0,729 |
|
2800 |
0,761 |
|
1622 |
-0,7 |
17 |
0,615 |
|
350 |
0,732 |
|
2900 |
0,762 |
|
1593 |
-0,8 |
19 |
0,618 |
|
370 |
0,736 |
|
3000 |
0,764 |
|
1560 |
-0,9 |
21 |
0,621 |
|
390 |
0,740 |
|
3100 |
0,765 |
|
1529 |
-1,0 |
23 |
0,624 |
|
410 |
0,743 |
|
3200 |
0,766 |
|
1511 |
-1,1 |
25 |
0,626 |
|
430 |
0,747 |
|
3300 |
0,767 |
|
1483 |
-1,2 |
27 |
0,629 |
|
450 |
0,750 |
|
3400 |
0,768 |
|
1462 |
-1,3 |
29 |
0,631 |
|
470 |
0,753 |
|
3500 |
0,769 |
|
1444 |
-1,4 |
31 |
0,633 |
|
490 |
0,756 |
|
3600 |
0,770 |
|
1416 |
-1,5 |
33 |
0,635 |
|
500 |
0,708 |
|
3700 |
0,771 |
|
1393 |
-1,6 |
35 |
0,637 |
|
600 |
0,714 |
|
3800 |
0,772 |
|
1379 |
-1,7 |
37 |
0,638 |
|
700 |
0,718 |
|
3900 |
0,773 |
|
1366 |
-1,8 |
39 |
0,640 |
|
800 |
0,722 |
|
4000 |
0,774 |
|
1344 |
-1,9 |
41 |
0,642 |
|
900 |
0,726 |
|
4100 |
0,775 |
|
1329 |
-2,0 |
43 |
0,643 |
|
1000 |
0,729 |
|
4200 |
0,776 |
|
|
|
45 |
0,645 |
|
1100 |
0,732 |
|
4300 |
0,777 |
|
|
|
47 |
0,646 |
|
1200 |
0,734 |
|
4400 |
0,777 |
|
|
|
49 |
0,648 |
|
1300 |
0,736 |
|
4500 |
0,778 |
|
|
|
50 |
0,648 |
|
1400 |
0,739 |
|
4600 |
0,779 |
|
|
|
70 |
0,660 |
|
1500 |
0,741 |
|
4700 |
0,780 |
|
|
|
90 |
0,669 |
|
1600 |
0,743 |
|
4800 |
0,781 |
|
|
|
110 |
0,676 |
|
1700 |
0,745 |
|
4900 |
0,781 |
|
|
|
130 |
0,683 |
|
1800 |
0,747 |
|
5000 |
0,782 |
|
|
|
150 |
0,689 |
|
1900 |
0,748 |
|
|
|
|
|
|
170 |
0,694 |
|
2000 |
0,750 |
|
|
|
|
|
|
Przy polaryzacji w kierunku zaporowym od 0 do-2V prąd wynosił stale 0,01A.
Od pomiaru pojemności do obliczeń należało odjąć pojemność przewodów = 97pF.
Przykładowe obliczenia
I-V
a=33,574 ∆a =0,322 b=-31,6645 Δb=0,201203
n=
C-V
Δa=24881
Δb=29087
Wnioski
Celem naszego ćwiczenia było wyznaczenie bariery potencjału na złączu metal-półprzewodnik. Wyznaczaliśmy ją na dwa sposoby - z charakterystyki I-V oraz charakterystyki C-V. Teoretycznie wysokość tej bariery powinna być taka sama dla obu metod. Praktycznie ta bariera jest taka niewielka (jednostki w elektronowoltach), że nawet dla dobrej klasy mierników otrzymaliśmy niewielką różnicę wyników. Wynika ona z błędów pomiarowych, ale również z niemożliwości dokonania dokładnych pomiarów przez człowieka.