1. Definicja mikrosystemów
Mikrosystem jest elektromechanicznym mikro-urządzeniem zawierającym mikromechaniczne i mikroelektroniczne elementy współpracujące ze sobą (sensory, aktuatory, obwody elektroniczne). Komponenty te są trójwymiarowe i wytworzone za pomocą specjalnych procedur inżynierii 3D, opartych na technologii mikroelektronicznej (najczęściej głębokie, mokre trawienie). Tworzą spójny system przetwarzania wielkości fizycznych i chemicznych na sygnały elektryczne, lub wykonujących określoną pracę, których co najmniej jeden z wymiarów charakterystycznych mieści się w granicach mikrometrów.
2. Rynek mikrosystemów
Rozwój MEMS i zapotrzebowania na nie stale rośnie - jest to wzrost ekspotencjalny. W 2002r. na jednego mieszkańca USA przypadało 3 MEMSy, w 2017 już 1000, a według przewidywań w 2025 aż 10000. Rynek MEMS cały czas się zmienia, a determinowany jest przez potrzeby wojska. Przenosi się to na zapotrzebowanie innych gałęzi przemysłu, np. motoryzacji, urządzeń codziennego użytku, lotnictwa.
W 2012r. nastąpił główny wzrost zapotrzebowania na czujniki (akcelerometry, żyroskopy, mikrofony, elektroniczne kompasy) MEMSowe w stosunku do 2009r.
3. Najpopularniejsze mikrosystemy
• Czujniki przyspieszenia ziemskiego w telefonach
• Akcelerometry w kontrolerach do gier
• Filtry i przełączniki w telefonach
• Mikrofony
Warto też napisać, że najpopularniejsze mikrosystemy to są te, które znajdują się dookoła nas, które wykorzystujemy w życiu codziennym, a nie te w wojsku czy medycynie.
4. Rozwój mikrosystemów
Aktualnie w bliskim otoczeniu przypada ok. 21 MEMS na osobę. Dąży się do tworzenia MEMSów zero-energetycznych (samo-zasilających się), które będą inteligentnie ze sobą połączone oraz z siecią.
Rośnie zapotrzebowanie i przewiduje się, że niedługo będzie 1000 MEMS/osobę.