^ Si(s) + 2 H2(g)
SiH4(g)
Proces Union Carbide
2 HSiCI3-► H2SiCI2 + SiCI4
2 H2SiCI2-►HSiCIs + H3SiCI
2 H3SiCI-►SiH4 + H2SiCI2
SiH4-►Si + 2H2
Redukcje wodorkami -procesy wsadowe; skala ok. 50 kg
Proces Union Carbide - proces ciągły
Wytwarzanie SiH4
Reakcja krzemu MGS z magnezem w atmosferze wodoru w temperaturze 500°C - tworzy się krzemek magnezu Mg2Si. Następnie:
Mg2Si + 4 NH4CI -► SiH4 + 2 MgCI2 + 5 NH3
nh3(c)
Procesy redukcji SiCI4
SiCI4 + 4 LiH-► SiH4 + 4 LiCI
SiCI4 + 4 LiAIH4-► SiH4 + LiCI + AICI3
4 SiHCI3
3 SiCI4 + 2 H2 + Si(98%)