6800810430

Odległość robocza

Duża odległość robocza powoduje zmniejszenie kąta rozbieżności wiązki elektronowej przy jednoczesnym wzroście rozmiarów plamki elektronowej.

Ze wzrostem odległości roboczej spada zdolność rozdzielcza mikroskopu, co jest związane przede wszystkim ze wzrostem rozmiarów plamki elektronowej.

Z drugiej strony wzrasta również głębia pola, bowiem zmniejsza się kąt rozbieżności wiązki.

True 1 ^	\
Working	Default
Distance Y	Working
	bistance
Specimen \	f Stage