background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

1

2. POMIARY PARAMETRÓW PRZEPŁYWU 

 

 

2.1. Wprowadzenie 

Pod  pojęciem  przepływu  rozumie  się  postępujące  w  czasie  przemieszczanie 

się  płynów  (cieczy  i  gazów)  lub  par  w  rurociągach,  kanałach,  dyszach,  przewęże-

niach itp. elementach przewodu. 

Pomiary  przepływu  odgrywają  bardzo  ważną  rolę  we  wszystkich  dziedzinach 

życia. W domach dokonuje się pomiaru ilości wody, energii cieplnej, ilości gazu, itd. - 

gdyż pomiar parametrów przepływu jest podstawą do rozliczeń finansowych. Trudno 

wymienić nawet najważniejsze obszary zastosowań pomiaru przepływu w przemyśle, 

w  badaniach,  w  medycynie  itd.  Różnorodność  zastosowań  pomiarów  przepływów 

spowodowała  duży  rozwój  metod  pomiaru.  Podstawowym  parametrem  przepływu 

jest jego prędkość w, która wiąże się z masą oraz objętością płynu. lub objętość, któ-

ra przepłynie przez przekrój rurociągu w jednostce czasu określa masowe natężenie 

przepływu q

m

 (o wymiarze kg/s lub kg/h), lub objętościowe natężenie przepływu q

v

 (o 

wymiarze m

3

/s lub m

3

/h). Pomiędzy tymi wielkościami istnieje zależność: 

 

q

m

 =q

v

 

ρ 

gdzie: 

ρ - masa właściwa, gęstość wyrażona w kg/m

3

Według  Reynoldsa,  przepływ  płynów  może  przebiegać  w  dwóch  odmianach, 

co  daje  w  konsekwencji  dwa  rodzaje  przepływów  w  zależności  od  wartości  liczby 

Reynoldsa, określanej wyrażeniem 

υ

=

L

W

Re

 

w którym: 

 L - charakterystyczny wymiar geometryczny (np. długość) [m], 

W - prędkość przepływu medium [m/s], 

 

υ - lepkość kinematyczna [m

2

/s]. 

A  zatem  typ  przepływu,  w  którym  zarówno  kierunek,  jak  i  prędkość  cząstek 

przepływającego medium, w tym samym miejscu strugi są stałe w czasie (np. wypływ 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

2

ze  zbiornika  wody  o  stałym  poziomie),  określa  się  jako  uwarstwiony  lub  laminarny 

(Re 

≤ 2320). 

Drugi  typ  przepływu,  w  którym  cząstki  przepływającego  płynu  nie  przemiesz-

czają się równolegle do przodu, lecz kłębią się w różnych kierunkach, określa się ja-

ko  burzliwy  lub  turbulentny  (Re  >  3000).  Odpowiednio  do  typu  przepływu  różny  bę-

dzie rozkład prędkości w przewodzie, czyli tzw. profil prędkości (rys. 2.1). 

                     a)                                                                          b) 

 

Rys. 2.1. Interpretacja graficzna przepływów: a) laminarnego, b) turbulentnego 

Zależności  opisujące  przepływ  płynu  wynikają  z  równania  Bernoulliego.  Roz-

patrując dwa przekroje I oraz II rurociągu przedstawionego w układzie współrzędnych 

1  -  H  na  rys.  2.2,  należy  zauważyć,  że  w  każdym  z  nich  dla  różnych  wysokości  H

1

 

oraz H

2

 wystąpią różne ciśnienia p

l

 oraz p

2

 i średnie prędkości W

l

 oraz W

2

 

Rys. 2.2 Graficzne przedstawienie wielkości występujących w równaniu Bernouliego 

 

W każdym z przekrojów energia jest sumą trzech energii - zdefiniowanych dla 

masy m = 1 kg: 

W

max

 

W

max

 

W

max

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

3

- energii potencjalnej 

E

p

 = H g 

- energii kinetycznej 

E

k

 = 

2

2

W

 

- energii objętościowej 

E

v

 = p V = p / 

ρ 

 

Suma składowych energii w obu przekrojach w ogólnym przypadku musi być stała: 

 

E

p1

 + E

k1

 + 

 

E

v1

 = E

p2

 + E

k2

 + 

 

E

v2

 

Ponownie uwzględniając jednostkową masę otrzymano: 

 

H

1

 g + 

2

1

2

W

 + 

ρ

1

p

 = H

2

 g + 

2

2

2

W

 + 

ρ

2

p

 

Mnożąc ostatnie równanie przez 

ρ otrzymuje się równanie ciśnień: 

 

p

1

 + H

1

 g 

ρ+ 

2

1

2

ρ

W

 = p

2

 + H

2

 g 

ρ+ 

2

2

2

ρ

W

 (2.1) 

 

gdzie: 

p

 - ciśnienie statyczne, 

2

2

2

ρ

W

 - ciśnienie dynamiczne, 

H g 

ρ

 - ciśnienie niwelacyjne. 

 

Zależność (2.1) została, wyprowadzona przy założeniu, że przepływ płynu od-

bywa się bez strat. W rzeczywistości, w wyniku tarcia część energii zamieniana jest 

na  ciepło.  Stratę  energii  należy  uwzględnić  w  składniku  określającym  ciśnienie  dy-

namiczne, wprowadzając współczynnik 

α: 

 

p

1

 + H

1

 g 

ρ+ 

'

1

1

2

2

α

ρ

W

 = p

2

 + H

2

 g 

ρ+ 

'

2

2

2

2

α

ρ

W

 

gdzie: 

α

 = 0,5 ... 1. 

Przyrządy  służące  do  pomiaru  różnych  miar  przepływu  nazwano  przepływo-

mierzami.  Służą  one  do  pomiaru  średniej  prędkości,  natężenia  objętościowego  lub 

masowego przepływu. Całkując natężenie objętościowe metodami elektrycznymi lub 

mechanicznymi  wyznacza się objętość płynu, który przepłynął  w czasie całkowania. 

Przyrządy służące do wyznaczania objętości płynu nazywamy licznikami płynu. Naj-

bardziej  znanymi  licznikami  płynu  są  m.in.  gazomierze,  wodomierze  w  gospodar-

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

4

stwach domowych oraz liczniki objętości paliwa na stacjach benzynowych. 

W  przepływomierzach  wykorzystuje  się  wiele  zjawisk  fizycznych,  w  oparciu 

o które  opracowano  różne  konstrukcje  przyrządów.  Zależności  wynikające  z  równa-

nia Bernoulliego są podstawą działania przepływomierzy zwężkowych oraz pływako-

wych.  Wstawiając  do  rurociągu  przegrodę  w  postaci  zwężki  zwiększa  się  prędkość 

płynu  przepływającego  przez  zwężkę.  Z  równania  (2.1),  przy  założeniu  H

1

  =  H

2

 

otrzymuje  się  zależność  pomiędzy  prędkościami  a  ciśnieniami  przed  i  za  zwężką. 

Mierząc  ciśnienia  można  wnioskować  np.  o  objętościowym  natężeniu  przepływu. W 

przepływomierzu  pływakowym  różnica  ciśnień  związanych  również  ze  zwiększoną 

prędkością  płynu  utrzymuje  pływak  na  odpowiedniej  wysokości.  W  przepływomier-

zach  wirnikowych strumień płynu powoduje obrót łopatek turbinki lub czasz. Istnieje 

wiele  innych  rozwiązań  przepływomierzy  mechanicznych.  Obecnie  coraz  większego 

znaczenia  nabierają  przepływomierze  wykorzystujące  inne  zjawiska,  takie  jak  zjawi-

sko  indukcji  elektromagnetycznej  –  w  przepływomierzach  indukcyjnych,  zjawiska 

związane z rozchodzeniem się fal ultradźwiękowych - w przepływomierzach ultradź-

więkowych, zjawiska związane z transportem energii cieplnej – w przepływomierzach 

kalorymetrycznych.  Dzięki  zastosowaniu  techniki  mikroprocesorowej  przepływomie-

rze oparte o metody, w których sygnał wyjściowy jest sygnałem elektrycznym są co-

raz  częściej  stosowane.  Obecnie,  jak  to  wynika  z  analizy  ofert  katalogowych  więk-

szych firm oferujących przepływomierze, około 35% przepływomierzy stanowią prze-

pływomierze  zwężkowe,  ok.  20%  przepływomierze  turbinkowe,  ok.  15%  przepływo-

mierze  pływakowe,  ok.  15%  przepływomierze  indukcyjne,  ok.  2%  przepływomierze 

ultradźwiękowe,  ok.  3%  przepływomierze  wirowe,  a  ok.  10%  inne,  w  tym  kaloryme-

tryczne i korelacyjne.

 

Bardzo  ważną  cechą  przetworników  warunkującą  ich  pracę  w  systemach  pomiaro-

wych jest możliwość przesłania sygnałów pomiarowych z punktu pomiarowego np. do kontro-

lera, znajdującego się często w znacznej odległości. Dlatego w przepływomierzach mecha-

nicznych (zwężkowych, pływakowych, turbinkowych) należy przetworzyć sygnał mechaniczny 

na elektryczny. Pojawia się w ten sposób dodatkowe ogniwo w torze przetwarzania i w związ-

ku z tym dodatkowe błędy i najczęściej nieliniowość przetwarzania, wynikająca z charaktery-

styki przetwornika wielkości mechanicznej na elektryczną. 

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

5

Tablica 1. Charakterystyka metod do pomiaru wybranych parametrów przepływającego płynu 

 

Lp. 

Metoda 

Rodzaj płynu 

1. 

przepływomierze zwężkowe, 

gazy i ciecze 

2. 

przepływomierze turbinkowe, 

ciecze i gazy niezbyt zanieczyszczone 

3. 

przepływomierze pływakowe, 

ciecze i gazy 

4. 

przepływomierze indukcyjne, 

ciecze 

5. 

przepływomierze ultradźwiękowe, 

powietrze i gazy 

6. 

przepływomierze wirowe, 

ciecze i gazy 

7. 

anemometry LDA / 

Laser Doppler Anemometry/

gazy i ciecze 

8. 

przepływomierze kalorymetryczne, 

ciecze i gazy 

9. 

termoanemometry  konwekcyjne, 

gazy i ciecze nieprzewodzące 

10.  termoanemometry  falowe. 

gazy i ciecze nieprzewodzące 

 

2.2. Ogólna charakterystyka wybranych narzędzi do pomiaru przepływu 

2.2.1. Anemometr skrzydełkowy 

Anemometr  skrzydełkowy  (rys.  2.3)  składa  się  z  obudowy  cylindrycznej  1,  w 

której  jest  umieszczony  współosiowo  wirnik  2  ze  skrzydełkami  wykonanymi  najczę-

ściej z cienkiej blachy aluminiowej i nachylonymi pod kątem względem osi. Wirnik ten 

napędzany przepływającym strumieniem powietrza, uruchamia przez specjalną prze-

kładnię  licznik  obrotów  3,  przy  czym  istnieje  ścisła  zależność  między  prędkością 

przepływu  a  liczbą  obrotów  wirnika  tak,  że  licznik  może  wskazywać  drogę  przebytą 

przez strumień gazu, wyrażoną w metrach. Mierząc stoperem czas, jaki upłynie mię-

dzy włączeniem i wyłączeniem licznika oraz odczytując różnice wskazań na początku 

i końcu pomiaru, oblicza się średnią prędkość. 

 

 

Rys. 2.3. Anemometr skrzydełko-

wy 

1- obudowa cylindryczna 

2-wirnik ze skrzydełkami 

3-licznik obrotów 

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

6

Anemometry skrzydełkowe służą do pomiaru małych prędkości; przy średnicy 

wirnika 60 mm zakres pomiaru wynosi 2 

÷ 10 m/s, przy średnicy 150 mm zakres wy-

nosi 0,1 

÷ 2 m/s. A więc, anemometry o dużej średnicy wirnika są bardziej czułe, ale 

też i trudniejsze w użyciu. Cechuje się je najczęściej w kanałach aerodynamicznych 

lub też w ten sposób, że przetłacza się przez rurę o średnicy równej średnicy obudo-

wy anemometru znaną ilość gazu  V& . Znając przekrój rury można określić średnią 

prędkość w

ze wzoru: 

t

A

V

w

s

=

&

 

2.2.2. Przepływomierz kalorymetryczny 

Metoda  pomiaru  prędkości  przepływu  przez  pomiar  różnicy  temperatur  mie-

rzonych  po  obu  stronach  elementu  grzejnego  umieszczonego  na  rurociągu  zilustro-

wana została na rys. 2.4. Na fragmencie rurociągu znajduje się nawinięte uzwojenie 

grzejnika.  Ciepło  Joule'a,  dla W  =  0,  powoduje  symetryczny  wzrost  temperatury  po 

obu stronach grzejnika. 

Stąd dla T

K10

 = T

K20

 termorezystory R

T1

 = R

T2 

będą posiadały taką samą rezy-

stancję i mostek będzie znajdował się w stanie równowagi. Jeżeli W 

≠ 0, to strumień 

cieplny będzie unoszony strumieniem płynu powodując obniżenie temperatury T

K1v

 i 

wzrost temperatury T

K2v

 

Rys. 2.4. Metoda kalorymetryczna pomiaru przepływu 

a - układ pomiarowy, b - rozkład temperatur dla W = 0 i W 

≠ 0 

W = 0

W

W

≠≠≠≠

0

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

7

Rozpatrując przypadek, w którym termometry  znajdują się w takiej odległości 

od  grzejnika,  przy  której  temperatura  wzdłuż  długości  rurociągu  już  się  nie  zmienia, 

bilans mocy można opisać równaniem: 

 

P

T

c

q

K

p

m

=

 

gdzie: 

v

K

v

K

K

T

T

T

1

2

=

 - różnica temperatur dla W 

≠ 0, q

m

 - masowe natężenie przepływu, 

c

p

 - ciepło właściwe, P - moc grzejnika. 

Z zależności tej można wyznaczyć masowe natężenie przepływ q

m

 i po scał-

kowaniu masę płynu przepływającego w rurociągu. Zależność opisuje metodę pomia-

ru w sposób przybliżony - przyjęto, że grzejnik nagrzewa całą masę płynu i jednocze-

śnie  temperatura  w  miejscu  pomiaru  jest  już  ustalona.  Założenie  to  jest  łatwe  do 

spełnienia  przy  bardzo  małych  średnicach  rurociągów  i  niewielkich  prędkościach 

przepływu. Dla dużych średnic i masowych natężeń przepływu moc, którą należałoby 

dostarczyć  do  podgrzania  całego  płynu  do  temperatury  ustalonej  byłaby  zbyt  duża. 

Dlatego,  przy  większych  masowych  natężeniach  przepływu  charakterystyki  przepły-

womierzy kalorymetrycznych są silnie nieliniowe - ich przebieg zależy od konstrukcji 

przepływomierza, parametrów płynu, liczby Reynoldsa itd. 

Spotyka  się  dwa  rozwiązania  konstrukcyjne  przepływomierzy  kalorymetrycz-

nych: 

• 

z pomiarem różnicy temperatur 

∆T

K

; wtedy grzejnik jest umieszczony w 

środku pomiędzy termometrami i dla W = 0 różnica temperatur 

∆T

K

 = 0, natomiast dla 

≠ 0 zachodzi zależność: 

 

( )

n

m

p

K

q

c

P

T

=

 

gdzie: n = 0,3...1 

• 

ze stałą różnicą temperatur 

∆T

Kv

 i zmianą mocy dostarczonej do grzej-

nika;  wtedy  termometry  umieszczone  są  niesymetrycznie  względem  grzejnika  i  dla 

W =  0  różnica  temperatur 

Kv

K

T

=

,  natomiast  dla  W 

≠  0,  aby  otrzymać  tę  samą 

różnicę  temperatur  należy  do  grzejnika  dostarczyć  dodatkową  moc 

∆P,  która  jest 

miarą masowego natężenia przepływu. 

W przypadku dużych średnic rurociągów wprowadza się rozgałęzienie rurociągu - tor 

boczny o małym przekroju poprzecznym. Rozpływ strumieni płynu jest analogiczny jak roz-

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

8

pływ prądu przez bocznik i mierząc masowe natężenie przepływu w rurociągu o małym prze-

kroju możemy wnioskować o masie jaka przepłynęła głównym rurociągiem. Ważną rolę od-

grywa sposób wykonania rurociągu bocznikowego, tak aby pomiędzy masowymi natężeniami 

przepływu w obu rurociągach istniała ścisła zależność. 

Na rys. 2.4 termometry zostały przedstawione jako termometry rezystancyjne, nawi-

nięte na  rurociąg.  Można  zastosować  również  termoelementy  (wtedy  mierzy  się  różnicę  sił 

termoelektrycznych),  termistory  montowane  na  zewnątrz  lub  wewnątrz  rurociągu.  Najnow-

szym rozwiązaniem są foliowe termorezystory, często w wykonaniu miniaturowym, naklejane 

na wewnętrzną powierzchnię rurociągu. Jeżeli zabezpieczone są one warstwą izolacji elek-

trycznej, to rozwiązanie takie można stosować również do płynów przewodzących. Metoda ta 

nadaje się szczególnie do pomiarów małych wartości masowych natężeń płynów - szczegól-

nie  gazów.  Minimalne  zakresy  pomiarowe  są  rzędu  2  10

-12

  kg/s, maksymalne  rzędu  5 10

3

 

kg/s.  Niedokładność  pomiaru  jest  rzędu 

±1%, przy czym współczynnik temperatury wynosi 

około 10

-3 

1/K. Stała czasowa zależy od konstrukcji - w rozwiązaniach z foliowymi termorezy-

storami naklejanymi wewnątrz rurociągu może być rzędu ms; typowe wartości dla termorezy-

storów nawiniętych na rurociąg są rzędu dziesiątek sekund. 

 

2.2.3. Przepływomierz indukcyjny 

Jeżeli  w  rurociągu  o  ściankach  wykonanych  z  materiału  izolacyjnego,  przez 

który przepływa ciecz przewodząca, wymusi się pole magnetyczne o indukcji B, to w 

cieczy  przepływającej  w  tym  polu  będzie  indukowało  się  napięcie,  przy  czym  jego 

wartość wynika z podstawowej zależności: 

 

)

 

B

 

W

 

div(

 

 

U =

 

gdzie:           

W

 - wektor prędkości,       - wektor indukcji,     ∆ - operator. 

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

9

Rys. 2.5. Ilustracja zasady działania przepływomierzy indukcyjnych: 

a - wielkości opisujące przepływ w rurociągu, b - funkcja wagi w(x,y) 

Uwzględniając, że kierunek wektora prędkości, w stosunku do kierunku wekto-

ra  indukcji  jest  prostopadły,  to  zgodnie  z  układem  współrzędnych  przyjętym  na  rys. 

2.5.a otrzymano: 

 

y

W

B

U

=

 

Zależność ta uwzględnia tylko zmianę prędkości cieczy wzdłuż przekroju, w kierunku 

osi  y.  Nie  uwzględnia  bardzo  złożonych  zjawisk,  które  występują  w  cieczy  przewodzącej, 

przepływającej w polu magnetycznym. Należy pamiętać, że prędkość w każdym punkcie le-

żącym na linii między elektrodą a osią rurociągu jest inna - zależna również od liczby Rey-

noldsa. Stąd "udział" napięć indukowanych wzdłuż tej linii w napięciu mierzonym między elek-

trodami  będzie  różny.  Jednocześnie prądy  wirowe  zamykają  się  nie  w  płaszczyźnie,  ale  w 

przestrzeni. Osłabiają one wypadkowy strumień, zmniejszając tym samym indukowane na-

pięcie. W polu elektrycznym już powstałym w cieczy ma miejsce ruch jonów, tworząc obszary 

ładunku przestrzennego i zmieniając tym samym rozkład potencjałów. Jak z tego wynika na 

napięcie U indukowane pomiędzy elektrodami ma wpływ wiele parametrów charakterystycz-

nych dla każdego miejsca w cieczy. Dlatego wprowadza się funkcję wagi w(x,y,z), określającą 

udział punktu o współrzędnych xyz w napięciu U. Stąd: 

  

dxdydz

 

z)

 

y,

 

 w(x,

B)

(W 

 

 

U

=

 

Wektor w(x,y,z) zależy również od geometrii rurociągu i jest charakterystyczny 

dla konkretnej konstrukcji. Dla przepływu osiowo-symetrycznego cieczy i osi elektrod 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

10

prostopadłych do kierunku wektora prędkości (jak na rys. 2.5.a) funkcja wagi  w(x,y) 

została  wyznaczona.  Tworzy  ona  dość  złożoną  rodzinę  krzywych  umieszczonych  w 

kole,  reprezentującym  przekrój  poprzeczny  rurociągu  -  przedstawiono  ją  na  rys. 

2.5.b. Dla takiego przypadku można napisać: 

U = k

W

 B D W

s

 

gdzie: 

D - średnica rurociągu, 

W

s

 - średnia prędkość cieczy, 

k

w

 - współczynnik uwzględniający funkcję wagi. 

Masowe natężenie przepływu jest równe: 

U

B

k

D

W

D

q

w

s

m

4

4

2

π

π

=

=

 

Jest  ono  proporcjonalne  do  mierzonego  napięcia  pomiędzy  elektrodami.  Na-

pięcie to zostanie wyindukowane pomiędzy elektrodami dla pola magnetycznego sta-

łego lub przemiennego. W praktyce stosuje się prawie wyłącznie pola magnetyczne 

przemienne,  sinusoidalne,  a  najczęściej  impulsowe.  Pole  magnetyczne  przemienne 

może być generowane przez dwie cewki znajdujące się nad i pod. rurociągiem. Zasi-

lane  są  one  najczęściej  napięciem  o  częstotliwości  sieciowej.  Najczęściej  obecnie 

stosowanym  sposobem  zasilania  cewek  wymuszających  strumień  w  rurociągu  jest 

przebieg  impulsowy  o  różnej  kombinacji  i  polaryzacji  impulsów  -  od  ciągu  impulsów 

prostokątnych o jednakowej polaryzacji do ciągu impulsów o zmieniającej się po kilku 

impulsach polaryzacji. Częstotliwość impulsów jest różna - od 5 Hz do kilkudziesięciu 

Hz. Na wybór częstotliwości decydujący wpływ mają zakłócenia i szumy. Zakłócenie 

jest  wynikiem  m.in.  skończonego  czasu  narastania  impulsu  przy  przełączaniu  lub 

włączaniu prądu w cewkach. Pomiar napięcia między elektrodami powinien odbywać 

się  w  stanie  ustalonym  (dla  dB/dt  =  0)czyli  po  pewnym  czasie  od  zmiany  prądu  w 

cewkach.  Czas  ten  nie  może  być  dłuższy  od  czasu  trwania  impulsu  -  ogranicza  on 

zatem od góry częstotliwość zasilania cewek, w praktyce do kilkunastu Hz. Z drugiej 

strony  napięcia  elektrochemiczne  mają  charakter  losowy  i  wolnozmienny  w  czasie. 

Można  wyeliminować  ich  wpływ  zwiększając  częstotliwość  zmian  indukcji  magne-

tycznej, co stanowi sprzeczny warunek w stosunku do warunku wynikającego ze sta-

nu nieustalonego pola magnetycznego. 

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

11

Przepływomierze  indukcyjne  można  stosować  do  pomiaru  parametrów  prze-

pływu  cieczy  przewodzących  o  konduktywności 

γ  >  100  µS/m;  wprowadzenie  elek-

trod  pojemnościowych  pozwala  na  rozszerzenie  możliwości  pomiaru  na  ciecze  o 

konduktywności 

γ od 0,05 µS/cm. Warunkiem poprawnego pomiaru jest konieczność 

zachowania  osiowo  -  symetrycznego  przepływu,  dlatego  przepływomierze  należy 

instalować  zachowując  odpowiednią  odległość  od  zagięć  rurociągu.  Średnice  ruro-

ciągów mogą być praktycznie dowolne - trudność sprawia jedynie przy dużych śred-

nicach  rurociągów  wymuszenie  jednorodnego  pola  magnetycznego  w  przestrzeni 

pomiarowej rurociągu. 

 

2.2.4. Przepływomierz ultradźwiękowy 

 

W przepływomierzach ultradźwiękowych wykorzystuje się zależność prędkości 

rozchodzenia  się  fal  ultradźwiękowych  w  cieczy  od  prędkości  cieczy.  Na  rys.  2.6. 

przedstawiono  fragment  rurociągu  z  przetwornikami  ultradźwiękowymi  P1,  P2, 

umieszczonymi  na  ściance  rurociągu,  w  którym  płynie  ciecz  ze  średnią  prędkością 

W

s

. Przetworniki ultradźwiękowe mogą być nadajnikami i odbiornikami - są to najczę-

ściej piezoelektryki ceramiczne, w których  wykorzystuje się proste i odwrotne zjawi-

sko piezoelektryczne. 

Jeżeli z przetwornika P1, działającego jako nadajnik zostanie wysłana fala ul-

tradźwiękowa,  o  nominalnej  prędkości  W

to  prędkość  rozchodzenia  tej  fali  będzie 

zależna od prędkości płynu - wypadkowa prędkość będzie sumą prędkości W

u

 i rzutu 

wektora prędkości średniej W

s

 na kierunek prędkości W

u

. Stąd czas przejścia fali ul-

tradźwiękowej pomiędzy przetwornikami będzie równy: 

ϕ

cos

12

s

u

W

W

l

t

+

=

 

gdzie: l - odległość pomiędzy przetwornikami ultradźwiękowymi. 

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

12

 

Rys. 2.6. Ilustracja przebiegu fali ultradźwiękowej w rurociągu 

 

Jeżeli funkcje przetworników zostaną zamienione i fala ultradźwiękowa zosta-

nie  wygenerowana  w  przetworniku  P2,  to  obie  składowe  wypadkowej  prędkości  fali 

ultradźwiękowej  będą  się  odejmować;  stąd  czas  przejścia  fali  ultradźwiękowej  po-

między przetwornikami będzie równy: 

ϕ

cos

21

s

u

W

W

l

t

=

 

Fala ultradźwiękowa może być falą harmoniczną lub impulsową,. W przypadku 

fal impulsowych zmianie ulegają jedynie czasy przejścia fal przez ciecz, w przypadku 

fali harmonicznej - częstotliwość oraz kąty przesunięcia fazy. W związku z tym moż-

na wyróżnić trzy metody pomiaru prędkości przepływu: metodę pomiaru różnicy cza-

su, metodę pomiaru różnicy częstotliwości oraz metodę pomiaru różnicy faz. W ukła-

dzie pomiaru różnicy czasów generowane są pojedyncze impulsy; czasy przejścia fal 

w obu kierunkach to t

12

 i t

21

 stąd różnica czasu: 

 

ϕ

ϕ

2

2

2

12

21

cos

cos

2

s

u

s

W

W

lW

t

t

t

+

=

=

 

Dla cieczy można przyjąć, że W

s

2

 << W

u

2

 - stąd otrzymano 

t

l

W

W

u

s

=

ϕ

cos

2

2

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

13

Z zależności na t

12

 i t

21

 wynika również: 

12

21

2

t

t

l

W

u

+

=

 

Podstawiając: 

(

)

t

t

t

l

W

s

+

=

12

21

2

cos

2

 

W  zależności  tej  nie  występuje  prędkość  fali  ultradźwiękowej  w  cieczy 

oraz inne wielkości charakteryzujące ciecz. Mnożąc średnią prędkość przez pole 

przekroju  poprzecznego  rurociągu  otrzymujemy  objętościowe  natężenie  przepływu. 

Należy  zauważyć,  że  prędkość  jest  proporcjonalna  do  różnicy  czasów 

∆t  (rzędu 

ns...

µs) oraz zależy od sumy czasów a więc wielkości, które są w łatwy sposób mie-

rzalne. Dokładność pomiaru zależy od wartości różnicy czasów przejścia obu fal ul-

tradźwiękowych przez ciecz. Większą dokładność będzie osiągać się przy większych 

średnicach  rurociągu  i  większych  prędkościach  przepływu  cieczy.  Impulsy  ultradź-

więkowe  najczęściej  generowane  są  jednocześnie  w  obu  przetwornikach,  które  w 

tym momencie pełnią funkcję nadajników. Po czasach przejścia fal ultradźwiękowych 

przez  ciecz  te  same  przetworniki  pełnią  funkcję  odbiorników.  Wysłanie  i  odbiór  fal 

ultradźwiękowych  stanowi  jeden  cykl  pomiarowy  -  po  nim  musi  nastąpić  okres mar-

twy,  potrzebny  do  wygaszenia  fal  odbitych.  Zachowanie  czasu  martwego  w  cyklu 

pomiarowym  jest  sposobem  eliminacji  zakłóceń  ultradźwiękowych;  zakłócenia  elek-

tryczne  można  w  łatwy  sposób  zminimalizować  stosując  odpowiednią  filtrację.  W 

przypadku fal ultradźwiękowych harmonicznych zmienia się kąt fazowy 

γ

l

 oraz 

γ

2

 obu 

fal ultradźwiękowych o pulsacji 

ω = 2πf

0

. Dla przypadku, gdy czasy przejść fal przez 

ciecz się różnią, t

12

 

≠ t

21

, zachodzi: 

0

2

1

2

f

t

π

γ

γ

=

 

Po podstawieniu do wzoru na W

S

 można wyznaczyć średnią prędkość: 

0

2

2

cos

2

f

l

W

W

u

s

π

γ

ϕ

=

 

W zależności tej występuje prędkość rozchodzenia się fal ultradźwiękowych w 

ośrodku W

u

, która jest funkcją temperatury, co wpływa na ograniczone zastosowanie 

metody  pomiaru  kąta fazowego.  Należy  zauważyć,  że  nakładanie się  prędkości  po-

woduje również zmianę częstotliwości fal ultradźwiękowych.  

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

14

Jeżeli okres fali dla W

s

 = 0 jest równy T

f

, to dla W

s

 

≠ 0, częstotliwość fal jest 

odpowiednio równa: 

 

f

s

u

T

W

W

f

ϕ

cos

1

+

=

 

 

f

s

u

T

W

W

f

ϕ

cos

2

=

 

Stąd: 

 

(

)

2

1

cos

2

f

f

T

W

f

s

=

ϕ

 

 

Wynik  jest  niezależny  od  prędkości  fali  ultradźwiękowej  W

u

.  Coraz  częściej 

stosuje  się  przetworniki  umieszczone  na  zewnątrz,  wprowadzające  falę  do  cieczy 

przez ściankę rurociągu i pryzmat ustalający kierunek fali ultradźwiękowej. W mate-

riałach  tych  następuje  zmiana  kierunku  rozchodzenia  się  fali  ultradźwiękowej  oraz 

zmiana prędkości. Rozwiązanie takie jest szczególnie korzystne przy pomiarach pa-

rametrów  cieczy  agresywnych,  ale  dodatkowe  warstwy  różnych  materiałów  na  dro-

dze  fali  ultradźwiękowej  są  źródłem  dodatkowych  błędów.  Metoda  ultradźwiękowa 

nadaje się szczególnie do pomiarów cieczy w rurociągach o dużych średnicach - od 

0,1 m do 3 m. Niedokładność pomiaru można uzyskać rzędu (

± 0,5... ± 1) %. 

 

2.2.5. Termoanemometr 

W przetwornikach termoanemometrycznych przepływający płyn odbiera ener-

gię  cieplną  z  nagrzanych  elementów  rezystorów,  termistorów  itd.  Miarą  prędkości 

płynu opływającego nagrzany element jest zmiana rezystancji spowodowana zmniej-

szeniem temperatury. Istnieje wiele rozwiązań konstrukcyjnych przetworników, reali-

zujących tę metodę pomiaru. Najczęściej stosowane jest chłodzenie "gorącego włók-

na", polegające na oddawaniu energii cieplnej przez rozgrzany przepływającym prą-

dem rezystor (drucik, termistor itp.). Zależność zmian rezystancji od prędkości prze-

pływu płynu jest bardzo złożona. Należy dodać, że rezystancja w takich przetworni-

kach jest zależna nie tylko od prędkości przepływu, ale również od temperatury pły-

nu,  rodzaju  płynu  (jego  przewodności  cieplnej)  oraz  od  kształtu  przetwornika  i  jego 

cech  konstrukcyjnych.  Dlatego  metody  te,  chociaż  znane  od  kilkudziesięciu  lat,  nie 

były dotychczas szeroko rozwijane. Dopiero technika mikroprocesorowa pozwoliła na 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

15

rozwój  termoanemometrów  i  ich  szersze  zastosowanie  w  pomiarach  parametrów 

przepływów. 

Najbardziej  znanym  przetwornikiem  termoanemometrycznym  jest  przetwornik 

z "gorącym włóknem", wykonany z cienkiego platynowego lub platynoirydowego dru-

tu  o  średnicy  od  0,005  mm do  0,1  mm  i  długości  od  0,2  mm  do  2  mm.  Najczęściej 

drut  jest  rozciągnięty  między  wolframowymi  pręcikami,  w  sposób  przedstawiony  na 

rys. 2.7. 

 

Rys. 2.7. Układ pomiarowy i czujnik termoanemometryczny 

Przez czujnik przepływa prąd o ustalonym natężeniu, nagrzewając go do tem-

peratury kilkuset stopni - w przypadku gdy prędkość przepływ jest równa zeru. Wtedy 

rozgrzane  włókno  oddaje  energię  cieplną  do  otoczenia,  proporcjonalnie  do  różnicy 

oraz  przewodności  cieplnej  otoczenia.  Temperatura  T

Ko

  jest  wynikiem  równowagi 

pomiędzy  wydzielonym  ciepłem  Joule'a  i  ciepłem  przekazywanym  do  otoczenia.  W 

przypadku pojawienia się ruchu płynu zwiększa się ciepło oddawane do otoczenia - 

temperatura  włókna  maleje  i  jego  rezystancja  również  maleje.  Tym  samym,  przy 

ustalonym prądzie spadek zmniejsza się napięcia na włóknie przetwornika. Aby spa-

dek  napięcia  powrócił  do  poprzedniej  wartości  należy  zwiększyć  natężenie  prądu, 

tym samym ciepło Joule'a do takiej wartości, aby ponownie osiągnąć taki stan usta-

lony jak przy W = 0. Wtedy pomiędzy nową wartością prądu i prędkością przepływu 

medium obowiązuje zależność: 

W

b

I

I

+

=

2

0

2

 

gdzie:  

I

o

 - prąd w przypadku gdy v = 0, 

b - stała, charakterystyczna dla danej konstrukcji termoanemometru. 

   W

W

W

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

16

Chłodzenie włókna jest zależne od kąta zawartego między wektorem prędko-

ści i osią ogrzewanego włókna. Największe chłodzenie wystąpi, gdy kierunek wektora 

prędkości  będzie  prostopadły  do  osi  przewodu.  W  przypadku  gdy  pomiędzy  wekto-

rem prędkości W i osią włókna zawarty jest kąt 

δ, pokazany na rys. 2.8.a, to oddawa-

ne ciepło jest zależne od składowej prędkości 

δ

sin

1

W

W

=

 

działającej  prostopadle  do  osi  czujnika.  W  rzeczywistości  zależność  jest  spełniona 

jedynie  w  przybliżeniu  -  nawet  w  przypadku,  gdy  kierunek  wektora  prędkości  jest 

zgodny z osią włókna istnieje dla W 

≠ 0 zwiększone oddawanie ciepła. 

Produkowane  są  różnorodne  konstrukcje  termoanemometrów  z  gorącym 

włóknem zawierające więcej niż jeden włókno (dwa, trzy). Takie konstrukcje pozwala-

ją  na  określenie  nie  tylko  wartości  prędkości  przepływu,  ale  również  turbulencji  - 

zmian  kierunku  wektora  prędkości.  Przykład  dwuwłóknowego  termoanemometru 

przedstawiono na rys. 2.8.b. Czujniki termoanemometru są względem siebie przesu-

nięte  tak,  że  nie  ma  między  nimi  galwanicznego  połączenia.  Gdyby  oś  jednego  z 

włókien przesunąć równolegle do przecięcia się z osią drugiego, to wtedy kąt między 

osiami będzie równy 

γ (w szczególnym przypadku γ= π/2). Przyjęto, że kierunek wek-

tora  prędkości  tworzy  z  osią  jednego  z  drutów  kąt 

δ. Wtedy  odpowiednie  składowe 

prędkości działają na włókna z prędkościami 

δ

sin

1

W

W

=

 

(

)

γ

δ

+

=

sin

2

W

W

 

Rys. 2.8. Przykłady czujników termoanemometrycznych: 

a - jednowłóknowy, b - dwuwłóknowy 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

17

 

Układ pomiarowy pozwala na wyznaczenie obu składowych prędkości oraz jej 

wypadkowej. Dla kąta 

γ= π/2 otrzymuje się zależności: 

2

2

2

1

W

W

W

+

=

 

2

2

2

1

2

cos

W

W

W

+

=

α

 

Należy  pamiętać,  że  zależności  powyższe  opisują  model  w  sposób  bardzo 

przybliżony,  nie  uwzględniający  zjawisk  zachodzących  dla 

δ  ≈ 0.  Dla kątów  δ  więk-

szych od ok. 60° można przyjąć, że zależności te opisują model z wystarczającą do-

kładnością.  Termoanemometry  stosowane  są  głównie  do  pomiaru  prędkości  powie-

trza,  turbulencji  powietrza  itd.  Istotną  cechą  termoanemometrów  z  "gorącym  włók-

nem" jest ich duża czułość przy jednoczesnej małej stałej czasowej. Czujniki termo-

anemometryczne zmieniają znacząco swoją rezystancję już przy prędkościach rzędu 

ułamków cm/s. Stała czasowa typowych termoanemometrów jest rzędu kilkunastu do 

kilkudziesięciu  ms.  Pozwalają  na  pomiar  rozkładu  prędkości,  kierunku  jej  zmian  w 

szerokim zakresie pomiarowym, z niedokładnością od 

± 0,2%. Typowy zakres pomia-

rowy termoanemometrów wynosi od 0 do 30 m/s przy zmianach temperatury otocze-

nia od 0°C do 60°C. Produkowane są przepływomierze termoanemometryczne, cha-

rakteryzujące się niedokładnością rzędu 

±2%. 

W  praktycznych  rozwiązaniach  termoanemometry  realizowane  są  w  postaci 

niezrównoważonych  mostków  Wheatstone

′a,  funkcjonujących  w  dwóch  układach: 

stałoprądowym (CCA) lub stałotemperaturowym (CTA) (rys. 2.9). 

W  układzie  stałotemperaturowym  mierzoną  wielkością  jest  prąd  nagrzewania 

sensora,  który  ze  wzrostem  prędkości  strumienia  powinien  wzrastać,  aby  zapewnić 

stałość jego temperatury, a tym samym rezystancji. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

18

 

 

 

Rys. 2.9. Układy termoanemometru konwekcyjnego: 

a) stałoprądowy (CCA),  

I = const, R

d

 = f(W

G

), b) stałotemperaturowy (CTA), R

d

 = const; 

Θ

d

 = const, I = f(W

G

)

 

Właściwości metrologiczne termoanemometru konwekcyjnego, zwanego także 

„z podgrzewanym drutem”, w dwu jego odmianach układowych obrazują jego charak-

terystyki statyczne (rys. 2.10). 

 

 

Rys. 2.10. Charakterystyki statyczne termoanemometru konwekcyjnego:  

a) stałoprądowego (CCA), I = const, R

d

 = f(W

G

),  

b) stałotemperaturowego (CTA), R

d

 = const, 

Θ

d

 = const, I = f(W

G

a) 

b) 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

19

2.3. Pomiary wilgotności. 

W  wielu  procesach  przemysłowych,  układach  klimatyzacyjnych  oraz  dla  po-

trzeb meteorologicznych zachodzi konieczność pomiaru wilgotności powietrza w celu 

doboru parametrów procesowych wrażliwych na obecność pary wodnej w otaczającej 

atmosferze, lub dla celów prognozowania pogody. Para wodna najobficiej występuje 

w dolnej części atmosfery, zwłaszcza na jej styku z powierzchnią parującą (oceana-

mi, gruntem, szatą roślinną) średnio od 0,2% (obszary polarne) do 4% (strefa równi-

kowa) w stosunku do objętości suchego powietrza. Geograficzny rozkład wilgotności 

powietrza  w  bardzo  ogólnych  zarysach  pokrywa  się  z  rozkładem  temperatury.  Wil-

gotność  powietrza  silnie  maleje  z  wysokością,  na  wysokości  5km  stanowi  średnio 

10%  swej  wartości  na  poziomie  morza.  Powietrze  możemy  w  przybliżeniu  potrakto-

wać jako gaz jednorodny o ciśnieniu barometrycznym p w którym zawsze jest pewna 

ilość pary wodnej, którą charakteryzuje określone ciśnienie cząsteczkowe pary p

pary

Masa pary zależy od temperatury.  

Przy  najwyższej  możliwej  zawartości  pary  w  powietrzu  ciśnienie  pary  wodnej 

jest  równe  ciśnieniu  wrzenia  przy  danej  temperaturze.  Jeżeli  doprowadzi  się  więcej 

pary wodnej niż odpowiada to wartości stanu nasycenia, nadmiar pary wydzieli się w 

postaci  mgły  czyli  najmniejszych  kropelek  wody.  Wrzenie  cieczy  (intensywne  paro-

wanie cieczy w całej objętości) zachodzi w temperaturze, w której ciśnienie pary na-

syconej tej cieczy jest równe ciśnieniu zewnętrznemu. Wobec tego zależność ciśnie-

nia pary nasyconej od temperatury jest taka sama, jak związek między temperaturą 

wrzenia cieczy i ciśnieniem.  

Ciśnienie i gęstość pary wodnej nasyconej podano w tablicy 2 z której odczy-

tamy temperaturę wrzenia wody (kolumna pierwsza) pod ciśnieniem podanym w dru-

giej kolumnie. Z tabeli tej odczytamy, że na przykład w temperaturze 20 

0

C 1m

3

 pary 

nasyconej ma masę 17,2g. Gdy temperatura spadnie do 15

0

C, w każdym 1m

3

 pozo-

stanie tylko 12,8g pary nasyconej, reszta, to jest 4,7g musi się skroplić. 

Ciśnienie  pary  nasyconej  w  temperaturze  20

0

C  wynosi  2333Pa.  Oznacza  to 

również,  że  woda  wrze  w  temperaturze  20

0

C,  gdy  ciśnienie  zewnętrzne  spadnie  do 

wartości 2333Pa.  

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

20

Tablica 2. Ciśnienie i gęstość pary nasyconej. 

temperatura 

(ºC) 

ciśnienie 

absolutne 

(Pa) 

gęstość 

ρ 

3

m

kg

 

temperatura 

(ºC) 

ciśnienie 

absolutne 

(Pa) 

gęstość 

ρ 

3

m

kg

 

temperatura 

(ºC) 

ciśnienie 

absolutne 

(Pa) 

gęstość 

ρ 

3

m

kg

 

-5 

400 

0,0032 

14 

1600 

0,0120 

29 

4000 

0,0287 

613 

0,0048 

15 

1706 

0,0128 

30 

4240 

0,0304 

653 

0,0052 

16 

1813 

0,0136 

35 

5626 

0,0396 

707 

0,0056 

17 

1933 

0,0144 

40 

7133 

0,0511 

760 

0,0059 

18 

2066 

0,0153 

45 

9586 

0,0654 

813 

0,0064 

19 

2200 

0,0162 

50 

12332 

0,0832 

867 

0,0068 

20 

2333 

0,0172 

60 

19785 

0,1302 

933 

0,0072 

21 

2480 

0,0183 

70 

31157 

0,1981 

1000 

0,0077 

22 

2640 

0,0194 

80 

47343 

0,2933 

1067 

0,0082 

23 

2826 

0,0206 

90 

70501 

0,4235 

1147 

0,0088 

24 

2986 

0,0218 

100 

101325 

0,5957 

10 

1227 

0,0094 

25 

3173 

0,0230 

120 

198517 

1,1220 

11 

1307 

0,0100 

26 

3360 

0,0243 

140 

361437 

1,9670 

12 

1400 

0,0106 

27 

3560 

0,0265 

160 

618082 

3,2600 

13 

1493 

0,0113 

28 

3773 

0,0271 

200 

1555072 

7,8570 

 

W  przemyśle  pomiary  wilgotności  dokonywane  są  przy  pomocy  higrometrów 

elektrycznych  ze  względu na  łatwość  automatyzacji  pomiarów  i  dogodną  postać  ich 

sygnałów wyjściowych w układach automatyki i sterowania procesami przemysłowy-

mi. 

Działanie  higrometrów  elektrycznych  opiera  się  na  wykorzystaniu  zjawisk  fi-

zycznych wywołujących w ich czujnikach mierzone zmiany parametrów elektrycznych 

(rezystywności,  przenikalności  elektrycznej,  prędkości  propagacji  fal  ultradźwięko-

wych, współczynnika załamania światła itp.). Różnorodność zjawisk fizycznych zwią-

zanych z wilgotnością oraz konstrukcji czujników i sposobów przetwarzania sygnałów 

uzyskiwanych  z  tych  czujników  powoduje,  że  higrometry  elektryczne  mają  różne, 

czasem trudne do bezpośredniego porównania, właściwości metrologiczne (zakresy 

pomiarowe, dokładność, rozdzielczość, metoda pomiaru, funkcja przetwarzania mie-

rzonej wilgotności na sygnał elektryczny czujnika wilgotności, czas odpowiedzi, linio-

wość, fizyczne warunki pomiaru). 

W praktyce  spotyka  się  różnorodne  konstrukcje  higrometrów,  uzależnione  od 

rodzaju  czujników  w  nich  zastosowanych.  W  większości  czujników  wilgotności  uży-

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

21

wanych w wilgotnościomierzach wykorzystuje się zjawisko absorpcji cząsteczek wo-

dy z badanego powietrza (gazu). 

W  zależności  od  budowy  czujnika  wilgotności  ma  się  do  czynienia  z  różnymi 

funkcjami  przetwarzania  wilgotności  na  sygnał  elektryczny  i  różnymi  czasami  odpo-

wiedzi wyznaczającymi ich właściwości dynamiczne.  

Założeniem  podstawowym  jest  przyjęcie,  że  powietrze  wilgotne  stanowi  mie-

szaninę  powietrza  suchego  i  pary  wodnej.  Para  wodna  znajdująca  się  w  powietrzu 

jest  na  ogół  przegrzana;  dopiero  gdy  jej  zawartość  wzrośnie  tak,  że  jej  ciśnienie 

cząstkowe  zrówna  się  z  ciśnieniem  nasycenia,  stanie  się  ona  parą  nasyconą.  W 

szczególności, jeśli temperatura powietrza jest równa temperaturze punktu potrójne-

go wody, to przy przesyceniu powietrza parą może się ona zacząć wydzielać zarów-

no w postaci mgły wodnej, jak i mgły lodowej. Zawartość pary wyrażoną w gramach, 

przypadającą  na  1m

3

  powietrza,  nazywa  się  wilgotnością  bezwzględną;  wilgotność 

bezwzględna  jest  równa  gęstości 

p

ρ

  pary  wodnej  w  temperaturze  powietrza  i  przy 

ciśnieniu cząsteczkowym pary.  

Stosunek wilgotności bezwzględnej do maksymalnie możliwej zawartości pary 

w  danych  warunkach  nazywa  się  wilgotnością  względną.  Jest  to  stosunek  gęstości 

pary znajdującej się w powietrzu do gęstości pary suchej nasyconej w tej samej tem-

peraturze,  ponieważ  maksymalna  zawartość  pary  w  powietrzu  jest  wtedy,  gdy  staje 

się ona parą suchą nasyconą. 

"

ρ

ρ

p

RH

=

 

gdzie 

"

ρ

 oznacza gęstość pary suchej nasyconej w temperaturze powietrza.  

Wilgotność  względną  można  w  przybliżeniu  wyrazić  jako  stosunek  ciśnienia 

cząsteczkowego pary znajdującej się w powietrzu do ciśnienia nasycenia pary w tej 

samej temperaturze. 

"

w

p

p

p

RH

=

 

2.3.1. Metoda psychrometryczna. 

Psychrometry  składają  się  z  dwóch  identycznych  termometrów,  znajdujących 

się w jednakowych obudowach przez które przepływa powietrze przetłaczane wenty-

latorkiem z taką samą prędkością. Zbiorniczek jednego z termometrów owinięty jest 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

22

zwilżoną  puszystą  przędzą  muślinową  (tzw.  termometr  mokry).  Przy  przepływie  po-

wietrza  ciecz  z  muślinu  odparowuje  i  powoduje  ochłodzenie  termometru,  przy  czym 

jest  ono  tym  większe,  im  bardziej  jest  suche  powietrze.  Różnica  wskazań  obu  ter-

mometrów  jest  funkcją  wilgotności  względnej  powietrza,  którą  odczytuje  się  z  tablic 

psychrometrycznych,  jeśli  znane  są  wartości  temperatur  wskazywanych  przez  ter-

mometr mokry i suchy.  

Aby pomiar był prawidłowy powietrze przy wilgotnym termometrze przepływać 

powinno z prędkością co najmniej 2 m/s. W innym przypadku pomiar jest bardzo nie-

dokładny.  

Do pomiarów praktycznych najczęściej używa się psychrometru aspiracyjnego 

Assmanna. Przyrząd ten ma rangę aparatu wzorcowego.  

 

                                     

 

 

Rys. 2.11. Psychrometr aspiracyjny Assmana. 

 

2.3.2. Higrometry włosowe 

Włosy użyte w tej metodzie muszą być odtłuszczone. Mają one zdolność wy-

dłużania się bądź kurczenia w zależności od względnej wilgotności powietrza. Zmia-

na wilgotności od 0 do 100% powoduje wydłużenie o około 2%. Oprócz włosów sto-

sować można higroskopijne materiały, takie jak jedwab, celofan, bawełna i inne. Nie-

które spośród nich wykazują zależność od temperatury. Wszystkie higrometry muszą 

być okresowo sprawdzane i dla poprawienia elastyczności poddawane krótkotrwałe-

mu działaniu wilgotnego powietrza np. powietrza nocnego. Histereza wskazań wyno-

si ±2 do 5%, a więc są one niedokładne. Są wrażliwe na działanie pyłów. Ich zakres 

roboczy wynosi 30 do 90%.  

powietrze 

termometr mokry 

termometr suchy

wentylator z mechanizmem zegarowym zasysają-
cy powietrze 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

23

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Rys. 2.12. Schemat budowy higrometru włosowego. 

 

2.3.3. Metoda absorpcyjna w oparciu o czujniki wilgotności  

Rozwój chemii związków polimerowych spowodował,  że  obecnie coraz popu-

larniejsze  są  higrometry  z  absorpcyjnymi  (aspiracyjnymi)  czujnikami  pojemnościo-

wymi. Czujniki pojemnościowe są kondensatorami o specjalnej konstrukcji zapewnia-

jącej  dużą  powierzchnię  absorpcji  wody  z  badanego  gazu  (najczęściej  powietrza). 

Wykorzystuje  się  tu  fakt,  że  przenikalność  elektryczna  wody 

81

r

ε

  jest  znacznie 

większa od przenikalności polimerów (przeciętnie 

2

5

,

1 ÷

r

ε

).  

Jeżeli  pomiędzy  okładki  kondensatora,  między  którymi  znajduje  się  polimer 

wprowadzimy  wilgotne  powietrze  to  wówczas  wypadkowa  przenikalność  ulegnie 

zmianie, czego efektem będzie zmiana pojemności kondensatora. 

Pojemność kondensatora płaskiego określa zależność : 

d

S

C

r

=

ε

ε

0

 

gdzie: 

0

ε

– przenikalność  elektryczna próżni (bezwzględna), 

r

ε

– przenikalność elektryczna względna, 

S – pole powierzchni elektrod kondensatora, 

d – odległość między elektrodami kondensatora. 

 

a – skala wilgotności, 
b – wskaźnik, 
c – dźwignia, 
d – włosy 
  

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

24

Z podanego wzoru wynika możliwość wpływania na pojemność kondensatora 

przez zmianę względnej przenikalności elektrycznej 

r

ε

 oraz przez zmianę wymiarów 

geometrycznych.  W  pojemnościowym  czujniku  wilgotności  względnej  wymiary  geo-

metryczne  są  stałe,  więc  pojemność  czujnika  zależy  tylko  od  zmian  przenikalności 

elektrycznej względnej 

r

ε

 dielektryka. 

Czujniki pojemnościowe o dużej czułości mają zwykle większe stałe czasowe i 

czasy  opóźnienia  odpowiedzi  dochodzące  do  kilkunastu  i  więcej  minut.  Pozwalają 

one  budować  proste  higrometry  z  częstotliwościowymi  sygnałami  wyjściowymi  do-

godnymi  w  układach  cyfrowych.  Wadą  pojemnościowych  czujników  wilgotności  jest 

stosunkowo duży wpływ temperatury i gazów agresywnych tworzących z parą wodną 

elektrolity co jest przyczyną dużych zmian przenikalności elektrycznej, a tym samym 

dodatkowych błędów pomiaru wilgotności. W prostych higrometrach z absorpcyjnymi 

czujnikami  pojemnościowymi  mierzona  wilgotność  jest  przetwarzana  na  pojemność, 

a  następnie  na  napięcie  lub  prąd  stały  (sposób  przetwarzania  stosowany  w  mierni-

kach  przemysłowych)  albo,  na  napięciowy  przebieg  prostokątny  o  zmiennej  często-

tliwości, okresie lub współczynniku wypełnienia.  

 

 

 

 

 

 

Rys. 2.13. Obudowa czujnika wilgotności Philips’a. 

 

Pojemnościowy  czujnik  wilgotności  powietrza  składa  się  z  nie  przewodzącej 

membrany polimerowej, która po obu stronach pokryta jest warstwą złota. Stała die-

lektryczna zmienia się w funkcji wilgotności względnej otaczającej czujnik atmosfery, 

co  odpowiednio  zmienia  mierzoną  wartość  pojemności  czujnika.  Polimerowy  dielek-

tryk jest zatrzaśnięty pomiędzy sprężystymi kontaktami i zamontowany w plastikowej 

obudowie wyposażonej w dwa wyprowadzenia o rozstawie 2,54mm, dopasowane do 

obwodów  drukowanych  o  standardowej  siatce  połączeń  2,54mm  –  długość  wypro-

wadzeń  to  3mm.  Na  charakterystykę  pomiarów  nie  ma  wpływu,  skondensowana na 

 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

25

membranie czujnika woda towarzysząca pomiarom. Czujnika nie powinno się wysta-

wiać na działanie jakichkolwiek substancji zawierających aceton lub chlorany. 

Czujnik  pracuje  wykrywając  zmiany  pojemności  cienkich  polimerowych  mem-

bran, absorbujących wilgoć ze swego otoczenia. Porównywany z wieloma innymi jest 

prosty  w  użyciu,  wiernie  odtwarzający  warunki  rzeczywiste  i  szybki.  Używany  dla 

domowych higrometrach, stacjach pogodowych, czujnikach klimatyzacji i suszarkach, 

jest zdolny do długiej pracy.  

 

 

Rys. 2.14. Katalogowa pojemność jako funkcja względnej wilgotności. 

 

2.4. Pomiary ciśnienia. 

Ciśnienie jest wielkością opisującą stan gazów lub  cieczy, równą ilościowo 

granicy ilorazu siły normalnej do pola powierzchni, na które działa siła: 

 

Jednostką  ciśnienia  w  układzie  SI  jest  Pascal  –  Pa  równy  N/m

2

.  Istnieje 

wiele  jednostek  pozaukładowych  stosowanych  w  praktyce  i  spotykanych  w  litera-

turze, które mają swój rodowód historyczny. Jedną  z częściej spotykanych jedno-

stek  pozaukładowych  jest  atmosfera  techniczna  (at),  definiowana  jako  ciśnienie, 

które wywołuje 1 kilogram siły (kG) działając na powierzchnię 1 cm

2

.  

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

26

Kilogram siły  (kG)  jest  siłą  z  jaką  Ziemia  przyciąga  masę 1  kg. Łatwo obli-

czyć, że  

Pa

at

5

,

98066

1

=

 

Uwzględniając, że 1 Pa jest jednostką małą, często używa się jej wielokrotności 

Pa

hPa

2

10

1

=

     

Pa

MPa

6

10

1

=

 

Stąd ciśnienie atmosferyczne wyraża się często w hPa (np. 1020hPa). Jed-

nostką  ciśnienia  używaną powszechnie do dzisiaj  jest  1 mmHg. Jednostka ta ma 

swój  rodowód  w  znanym  doświadczeniu,  polegającym  na  odwróceniu  rurki 

o długości 1 m wypełnionej rtęcią w taki sposób, że po odwróceniu rtęć częściowo 

wypływa  z rurki  do  naczynia,  tworząc  w  górnej  części  próżnię.  Wysokość  słupka 

rtęci,  zależna  od  ciśnienia  zewnętrznego,  była  miarą  ciśnienia  atmosferycznego; 

do dzisiaj istnieje wiele przyrządów wyskalowanych w milimetrach słupka rtęci. 

Pomiędzy 1 mmHg oraz 1 Pa w przyjętych przez fizyków warunkach termo-

dynamicznych istnieje zależność 

Pa

mmHg

322

,

133

1

=

 

Jednostkę mmHg w temperaturze   nazwano torem: 

mmHg

Tor

1

1

=

 

W praktyce spotyka się również jednostkę bar. Jest ona wielokrotnością Pas-

cala:  

Pa

bar

5

10

1

=

 

W  jednostce  tej  podaje  się  czasami  wartość  ciśnienia  atmosferycznego,  przy  czym 

stosuje się podwielokrotność mbar, odpowiadającą hPa (np. 1020 mbar). Ciśnienie jest wiel-

kością poprzeczną (dwupunktową) – tzn. taką, której pomiar wykonuje się pomiędzy dwoma 

„punktami”  (podobnie  jak  napięcie). W  każdej  metodzie  pomiaru  ciśnienia  istnieje  ciśnienie 

odniesienia – względem którego mierzymy ciśnienie. Jeżeli tym ciśnieniem odniesienia będzie 

ciśnienie próżni (p=0Pa) mówimy o pomiarze ciśnienia absolutnego. W przypadku pomiaru 

ciśnienia atmosferycznego ciśnieniem odniesienia jest próżnia. Ciśnienie atmosferyczne dla 

wielu metod pomiaru jest ciśnieniem odniesienia. Jeżeli mierzone ciśnienie ma wartość więk-

szą od ciśnienia atmosferycznego mówimy o nadciśnieniu, gdy ma wartość mniejszą  o pod-

ciśnieniu. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

27

2.4.1. Przetworniki ciśnienia światłowodowe z membraną płaską 

Na  rys.  9  przestawione  są  dwie  najprostsze  konstrukcje  przetworników  ci-

śnienia  z  membraną  płaską,  w  których  przemieszczenie  membrany  zostaje  prze-

tworzone na zmianę strumienia świetlnego przetworników światłowodowych.  

 

Rys. 2.15. Przykłady konstrukcji przetworników ciśnienia z membraną metalową 

i z detekcją światłowodową przemieszczenia za pomocą: a - przetwornika odbi-

ciowego, b - przetwornika przesłonowego 

 

Na  rys.  2.15.a  przemieszczenie  membrany  M  można  dobrać  tak,  by  punkt 

pracy  przetwornika  światłowodowego  znajdował  się  na  części  charakterystyki 

w przybliżeniu  liniowej.  Wtedy,  uwzględniając  niewielkie  przemieszczenie  środka 

membrany  otrzymuje  się  liniowe  przetworzenie  ciśnienia  na  zmianę  strumienia 

świetlnego. Na rys. 2.15.b przedstawiono rozwiązanie, w którym przemieszczenie 

membrany  jest  przetworzone  na  zmianę  strumienia  świetlnego  w  przetworniku 

światłowodowym przesłonowym, w którym przesłona P ogranicza strumień świetl-

ny  wychodzący  z  światłowodu  nadawczego,  w  taki  sposób,  że  strumień  docho-

dzący do  światłowodu  odbiorczego  jest modulowany  przemieszczeniem membra-

ny.  W ogólnym  przypadku  charakterystyka  przetwarzania  takiego  przetwornika 

jest nieliniowa, ale poprzez odpowiednie ukształtowanie przesłony można uzyskać 

również liniową charakterystykę. 

Przetworniki  takie  są  niewrażliwe  na  działanie  fal  elektromagnetycznych  i 

stąd  zakres  zastosowań  tych  przetworników  ogranicza  się  do  sytuacji  pomiaro-

wych,  w których  występują  bardzo  silne  pola  elektromagnetyczne.  Są  jednak 

wrażliwe  na  zmiany  temperatury  -  wtedy  termiczna  deformacja  obudowy  i  mem-

brany może być powodem dodatkowego przemieszczenia membrany i tym samym 

dodatkowego błędu. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

28

2.4.2. Przetworniki ciśnienia pojemnościowe z metalową membraną płaską 

W  przetwornikach  ciśnienia  pojemnościowych  przemieszczenie  membrany 

jest przetwarzane na zmianę pojemności. Membrana stanowi wtedy jedną elektro-

dę  kondensatora  -  druga  elektroda  znajduje  się  nad  membraną  i  ma  najczęściej 

kształt kołowy.  

 

Rys. 2.16. Schematy pojemnościowych przetworników ciśnienia z membraną me-

talową:  a  -  z  kondensatorem  pojedynczym,  b  -  z  kondensatorem  różnicowym  do 

pomiaru różnicy ciśnień 

 

Różnica  odwrotności  pojemności  jest  liniowo  zależna  od  różnicy  ciśnień. 

Należy  zauważyć,  ze  przetwornik  o  takiej  konstrukcji  reaguje  na  różnicę  ciśnień 

dwóch  płynów.  Przetwornik  różnicy  ciśnień,  z  membranami  metalowymi  oraz  de-

tekcją  przemieszczenia  za  pomocą pomiaru  zmian  pojemności  pomiędzy  elektro-

dami przytwierdzonymi do membran, jest najczęściej stosowanym, a ściślej domi-

nującym  przetwornikiem  pomiaru  różnicy  ciśnień.  Typową  konstrukcję  kondensa-

torów  takiego  przetwornika  przedstawiono  na  rys.  10.  Zakres  pomiarowy  różnicy 

ciśnień zależy od parametrów konstrukcyjnych membrany głównie od jej grubości. 

W przypadku pomiaru ciśnień mniejszych od 103 Pa, grubość membrany jest rzę-

du  kilkunastu  mikrometrów.  Odległość  pomiędzy  membranami  dla  niskich  zakre-

sów  pomiarowych  jest  rzędu  (0,1...0,2)  mm  -  wtedy  grubość  pierścieni  dystanso-

wych  jest  rzędu  60  mikrometrów.  Zbliżoną  wartość  grubości  mają  płytki,  najczę-

ściej ze szkła, czasem perforowane, których zadaniem jest przeciwdziałanie nad-

miernym deformacjom membrany przy skokach ciśnienia. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

29

Kondensatory  pracują  w  układzie  mostka  czteroramiennego,  zasilanego 

napięciem  o  częstotliwości  rzędu  kilkudziesięciu  kHz,  najczęściej  ok.  20  kHz. 

Konstrukcja pojemnościowego przetwornika ciśnienia z membraną metalową musi 

spełniać nie tylko wymagania dotyczące właściwości metrologicznych, ale również 

wymagania  związane  ze  szczelnością.  W  przypadku  przetworników  do  pomiaru 

dużych  ciśnień  stopień  trudności  technologicznych  przy  wykonaniu  uszczelnień 

membran,  wyprowadzaniu  końcówek  elektrod  znacznie  wzrasta.  Zagadnienia 

technologiczne stają się wtedy pierwszoplanowe. 

W przetwornikach  różnicy  ciśnień  istotne  jest  zabezpieczenie  przetwornika 

przed jednostronnym przeciążeniem spowodowanym zanikiem jednego z ciśnień, 

które  zwykle  wielokrotnie  przekracza  dopuszczalną  różnicę  ciśnień  przetwornika. 

Dlatego  też  przetworniki  takie  wyposaża  się  w  układy  przeciążeniowe  (zawory 

przeciążeniowe),  które  w  takich  przypadkach  powodują  wyrównanie  ciśnień  po 

obu stronach membran. W wykonaniach fabrycznych takich przetworników często 

pomiędzy  membranami  znajduje  się  olej  silikonowy,  przy  czym  środkowa  mem-

brana posiada otwory umożliwiające przepływ oleju. 

 

2.4.3. Przetworniki ciśnienia tensometryczne z metalową membraną płaską 

Przetworniki ciśnienia z metalową membraną płaską, na której znajdują się 

tensometry stanowią jedną z najstarszych grup przetworników ciśnienia charakte-

ryzują  się  dużą  dokładnością,  przy  czym  zakres  pomiaru  ciśnienia  zależy  od  pa-

rametrów  membrany,  głównie  jej  grubości.  Rozkład  naprężeń  na  powierzchni 

membrany  wskazuje  na  możliwość  umieszczenia  tensometrów  na  powierzchni 

membran,  w  taki  sposób,  aby  dwa  z  nich  były  poddane  naprężeniom  rozciągają-

cym (względne naprężenia większe od zera), a dwa -  ściskającym (względne na-

prężenia  mniejsze  od  zera).  Pozwala  to  na  połączenie  tensometrów  w  układ 

mostka  czteroramiennego.  Przykład  tensometrów  przeznaczonych  do  naklejania 

na membranę przedstawiono na rys. 2.17. 

Tensometry  na  powierzchni  membrany  można  wykonać  stosując  różne 

technologie. Firmy oferują tensometry metalowe i foliowe, przeznaczone do nakle-

jania na membranę lub gotowe membrany z tensometrami naniesionymi technolo-

gią  stosowaną  przy  cienkich  warstwach.  W  przypadku  membran  stosowanych 

w przetwornikach ciśnienia służących do pomiaru ciśnień o wartościach większych 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

30

od  0,5  MPa  stosuje  się  prawie  wyłącznie  tensometry  foliowe  naklejane  na  mem-

brany. 

 

Rys. 2.17. Przykład tensometrów przeznaczonych do naklejania na membranę 

 

2.4.4. Przetworniki ciśnienia krzemowe - piezorezystancyjne 

W  przetwornikach  piezorezystancyjnych  ciśnienia  z  membraną  krzemową 

wykorzystuje  się  efekt  piezorezystywności  występujący  w  monokrystalicznym 

krzemie.  Elementem  reagującym  na  ciśnienie  jest  cienka,  o  grubości  od 

1 mikrometra do 25 mikrometrów, kwadratowa lub kołowa membrana, w którą za-

implantowano piezorezystory. Rozmieszczenie i liczba piezorezystorów zależy od 

konstrukcji  przetwornika  -  minimalna  liczba  piezorezystorów  jest  równa  cztery. 

Najczęściej  wykonuje  się  sześć  lub  dziewięć  piezorezystorów,  z  których  można 

dobrać cztery do połączenia w układ mostka o minimalnym napięciu wyjściowym. 

Piezorezystory  wykonuje  się  stosując  taką  samą  technologię,  w  jakiej  wykonuje 

się elementy półprzewodnikowe (np. wzmacniacze operacyjne). W jednym proce-

sie produkcyjnym na płytce krzemowej wykonuje się jednocześnie kilkanaście lub 

kilkadziesiąt przetworników. Nakładając na płytkę krzemową warstwę emulsji i po 

naświetleniu  poprzez  maskę  i odsłonięciu  tylko  tych fragmentów  płytki,  w  których 

mają powstać piezorezystory wdyfundowuje się do krzemu odpowiednie domiesz-

ki  uzyskując  fragment  przewodzący.  W  następnym  etapie,  poprzez  odsłonięcie, 

przez  kolejny  proces  maskowania  samych  końcówek  piezorezystora  naparowuje 

się  metalizację  otrzymując  metalowe  styki,  do  których  przylutowuje  się  przewody 

(najczęściej  ze  złota  o  średnicy  50  mikrometrów)  łączące  piezorezystor  z  pod-

stawką. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

31

 

Rys. 2.18. Przykład: a - przetwornika ciśnienia z membraną krzemową 

i wdyfundowanymi piezorezystorami, b - rozłożenia piezorezystorów w krzemie 

 

Miejscowe zmniejszenie grubości płytki krzemowej uzyskuje się najczęściej 

w  procesie  lokalnego  wytrawiania  monokryształu.  Po  zakończeniu  obróbki  całej 

płytki  następuje  jej  podział  -  wycinany  jest  poszczególny  element  aktywny  prze-

twornika  w  sposób uproszczony przedstawiony na  rys. 2.18.b.  Następnie  wycięte 

elementy aktywne doklejane są za pomocą żywicy termoutwardzalnej do korpusu 

ceramicznego, w którym znajduje się otwór. W otworze tym umieszczona jest rur-

ka, poprzez którą doprowadza się do membrany mierzone ciśnienie. Ze względów 

technologicznych  (małe  rozmiary  konstrukcji)  trudnym  zagadnieniem  jest  zapew-

nienie szczelności pomiędzy membraną a doprowadzeniem mierzonego ciśnienia. 

Proces  technologiczny  produkcji  membran  oraz  piezorezystorów  nie  pozwala  na 

wykonywanie  przetworników  o  identycznych  parametrach.  Należy  pamiętać,  że 

niewielka  rozbieżność  rezystancji  piezorezystorów  (spowodowana  np.  nierówno-

miernym domieszkowaniem) połączonych w układ mostkowy powoduje pojawienie 

się  w  przekątnej  pomiarowej  mostka  napięcia  zerowego.  Napięcie  to  może  osią-

gać wartości kilkadziesiąt miliwoltów i być porównywalne z napięciem odpowiada-

jącym  mierzonym  ciśnieniom.  Dlatego  na  jednej  membranie  wdyfundowuje  się 

więcej niż cztery piezorezystory, co pozwala na wybór takiej konfiguracji rezysto-

rów  w  układzie  mostka  dla  której  napięcie  wyjściowe  będzie  minimalne.  Drugim 

problemem  w  czujnikach  piezorezystancyjnych  jest  zależność  rezystancji  i  pół-

przewodników  od  temperatury.  W  mostku  piezorezystancyjnym  zmienia  się  w 

funkcji temperatury napięcie zerowe oraz czułość. Istnieje możliwość kompensacji 

wrażliwości temperaturowej - w niektórych rozwiązaniach czujników w membranę 

wdyfundowane  są  rezystory  służące  tylko  do  pomiaru  temperatury,  nie  przeno-

szące znaczących naprężeń. Pomiar temperatury pozwala na korekcję na drodze 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

32

układowej lub programowej wpływu temperatury otoczenia. Również napięcie ze-

rowe  sprowadza  się,  poprzez  wprowadzenie  dodatkowych  elementów  nastaw-

nych, do wartości bliskiej zeru. Należy zwrócić uwagę na to, że sprawdzeniu i ko-

rekcji  rezystancji  zostaje  poddany  każdy  przetwornik. W  przypadku  produkcji  np. 

wzmacniaczy  operacyjnych  niedokładność  wykonania  rezystorów  równa  ±0,1% 

jest dopuszczalna i nie odgrywa istotnej roli w pracy wzmacniacza. 

Taka  sama  niedokładność  rezystancji  piezorezystorów  połączonych  w  mo-

stek  czteroramienny,  przy  zasilaniu  napięciem  10  V,  w  przekątnej  pomiarowej 

mostka  powoduje  pojawienie  się  napięcia  rzędu  ±  10  mV.  Dlatego  po  wykonaniu 

przetwornika,  doborze  piezorezystorów,  korekcji  itd.,  klasyfikuje  się  przetworniki 

w zależności  od  uzyskanych  parametrów  na  kilka  grup,  przy  czym  do  pierwszej 

należą przetworniki np. produkowane w Polsce o zakresach od 2 mPa do 70 Mpa, 

o membranach  o  grubościach  odpowiednio  (38...1300)  mikrometrów,  które  cha-

rakteryzują się błędem nieliniowości równym (-1...+0,6) %, napięciem zerowym od 

-45  mV  do  45  mV,  rezystancją  piezorezystorów  równą  (4,5...5,5)  kW,  zakresem 

temperatury pracy od - 40°C do 120°C. 

 

Rys. 2.19 Zintegrowany przetwornik ciśnienia z membraną krzemową. a – sche-

mat ideowy, b - rozmieszczenie obszarów półprzewodnika typu n oraz p w krze-

mie, c - charakterystyki przetwarzania 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

33

Przetworniki proponowane przez zachodnich dostawców charakteryzują się 

dla podobnych konstrukcji napięciem zerowym < 5 mV oraz błędem nieliniowości 

< 0,2%. 

Współczynnik 

temperaturowy 

czułości 

jest 

rzędu 

±0,15%/K, 

a współczynnik napięcia zerowego jest rzędu 0,02%/K. 

Kolejnym etapem rozwoju przetworników piezorezystancyjnych jest integracja 

z układami  wzmacniającymi,  wykonanymi  na  tej  samej  płytce  krzemu,  na  której  wy-

konano  piezorezystory.  Piezorezystory  oraz  układy  elektroniczne  wykonywane  są 

wtedy  w  tym  samym  cyklu  produkcyjnym.  Przykład  takiego  rozwiązania  jest  układ 

przedstawiony na rys. 2.19.a, w którym piezorezystory tworzą mostek oznaczony R1 

...  R4,  a  napięcie  przekątnej  pomiarowej  doprowadzone  jest  do  baz  tranzystorów 

wzmacniacza różnicowego. Potencjometr w obwodzie kolektorów pozwala na korek-

cję  napięcia  zerowego,  dzięki  czemu  charakterystyki  przetwornika  zaczynają  się  od 

zera (rys. 2.19.c). Na rys. 2.19.b, d przedstawione jest rozłożenie warstw odpowied-

nio  domieszkowanych  tworzących  tranzystory  oraz  piezorezystory.  Zintegrowane 

przetworniki  ciśnienia  są  produkowane  przez  prawie  wszystkie  najważniejsze  firmy 

światowe. Stanowią dzisiaj grupę powszechnie dostępnych, miniaturowych czujników 

adresowanych  do  różnych  zastosowań.  Mają  jednak  istotne  ograniczenie  -  dopusz-

czalny  zakres  temperatury  pracy  do  ok.  150°C.  Ograniczenia  tego  nie  posiadają 

przetworniki z membraną ceramiczną. 

 

2.4.5. Przetworniki ciśnienia z membraną ceramiczną 

Na  rys.  2.20.  przedstawiono  schematycznie  podstawowe  elementy  przetwor-

nika,  w  którym  membrana  krzemowa  zastąpiona  została  ceramiczną.  Rezystory 

są  wykonane  jako  cienkowarstwowe  -  techniką  napylenia.  Wykonywane  są  naj-

częściej z chromonikieliny (NiCr) lub azotku tantalu (TaN). Efekt zmiany rezystan-

cji występuje w rezystorach napylonych na ceramikę w analogiczny sposób jak w 

przypadku  tensometrów  -  główny  "udział"  w  zmianie  rezystancji  ma  zmiana  wy-

miarów geometrycznych. 

 

Rys. 2.20. Podstawowa konstrukcja przetwornika z membraną ceramiczną 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

34

Jednak ze względu na przyjętą powszechnie w literaturze nazwę dla napy-

lonych na membranę ceramiczną rezystorów metalowych, taką samą jak dla wdy-

fundowanych  w  półprzewodniki,  stosowane  jest  określenie  -  piezorezystory  cien-

kowarstwowe.  Grubość  napylenia  na  ceramikę  waha  się  w  granicach  od 

5 mikrometrów do 15 mikrometrów, szerokość ok. 0,1 mm, długość ok. 2 mm. 

Materiałem  najczęściej  stosowanym  na  membrany  jest  ceramika  korundo-

wa  o zawartości  99,5  %  Al2O3.  Materiał  ten  posiada  bardzo  dobre  właściwości 

mechaniczne:  moduł  sprężystości  E  =  380  109  Pa,  liczba  Poissona  v  =  0,22. 

W szerokim zakresie temperatur - do 1000°C właściwości te zmieniają się w spo-

sób  nie  wpływający  na  pracę  przetwornika.  Materiał  ten  charakteryzuje  się  dużą 

odpornością na działanie kwasów i szkodliwych czynników atmosferycznych. 

Proces  produkcji  czujników  z  membraną  ceramiczną  odbywa  się  w  dwóch 

etapach. W pierwszym, na płytce ceramiki, z której będą wycinane membrany wy-

konuje się jednocześnie metodą nanoszenia cienkich warstw i technik fotolitogra-

ficznych  piezorezystory  wraz  z  końcówkami  kontaktowymi.  Z  kolei,  po  rozcięciu 

płytki  ceramicznej  za  pomocą  lasera  na  poszczególne  membrany,  mocuje  się, 

uszczelnia  i wykonuje  połączenia  końcówek  piezorezystorów  z  końcówkami  wyj-

ściowymi obudowy. 

Innym  rozwiązaniem  przetworników  z  membraną  ceramiczną  są  przetwor-

niki,  w  których  na  membranę  nakłada  się  elektrodę  stanowiącą  jedną  z elektrod 

kondensatora. 

przypadku 

przetworników 

pojemnościowych 

ciśnienia 

z membraną ceramiczną, najczęściej spotyka się elektrody dzielone pierścieniowo 

pozwala to na eliminację niektórych wielkości wpływowych. 

Typowe  rozmiary  membrany  dla  przetwornika  o  zakresie  pomiaru  do  600 

kPa są równe: średnica 7,5 mm, grubość 200 mikrometrów. Połączenie przetwor-

nika  z podstawą  jest  operacją  krytyczną,  warunkującą  przebieg  charakterystyki 

przetwornika.  Podobnie  jak  w  przypadku  piezorezystorów  wdyfundowanych 

w krzem,  technologia  wykonania  piezorezystorów  warstwowych  nie  pozwala  na 

wykonanie  piezorezystorów  o  takich  samych  wartościach  -  dlatego  po  dobraniu 

elementów  mostka  klasyfikuje  się  wykonanie  przetworniki  w  zależności  od  para-

metrów metrologicznych - w sposób analogiczny jak w przypadku przetworników z 

membranami kwarcowymi. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

35

2.4.6. Przetworniki ciśnienia piezoelektryczne 

W  przetwornikach  ciśnienia  piezoelektrycznych  wykorzystuje  się  zjawisko 

piezoelektryczne.  Należy  zauważyć,  że  liczbowo  ciśnienie  działające  na  po-

wierzchni kryształu piezoelektryka jest równe naprężeniu występującemu w krysz-

tale,  które  powoduje  indukowanie  się  ładunków  na  powierzchniach  kryształu.  Ze 

względu  na  właściwości  efektu  piezoelektrycznego  takie  przetworniki  ciśnienia 

znalazły zastosowanie w pomiarach ciśnień szybkozmiennych. Kryształ piezoelek-

tryka w przetworniku umieszczony w taki sposób, aby mierzone ciśnienie działało 

bezpośrednio na powierzchnię kryształu, a nie poprzez pośrednie elementy, jak to 

ma  miejsce  w  przypadku  piezoelektrycznych  przetworników  siły.  Napięcie  poja-

wiające się na powierzchni kryształu jest "zbierane" za pomocą sprężynek o pomi-

jalnie  małym  nacisku  na  powierzchnię  kryształu.  W  przypadku  przetwornika  ci-

śnienia  obwody  elektryczne  muszą  spełniać  wszystkie  warunki  jakie  zostały 

przedstawione  w  przypadku  przetworników  piezoelektrycznych  siły  -  dotyczą  one 

maksymalizacji rezystancji obwodów wejściowych układów przyłączonych kryszta-

łu przetwornika oraz minimalizacji pojemności wejściowej tych obwodów. W typo-

wych  zastosowaniach  przemysłowych  przy  pomiarach  statycznych  ciśnienia  po 

kilku  minutach  dodatkowy  błąd  pomiaru  napięcia  na  powierzchni  kryształu,  spo-

wodowany rozładowaniem się kondensatora jakim jest kryształ, jest rzędu procen-

tu. Cechą charakterystyczną piezoelektrycznych przetworników ciśnienia jest bar-

dzo  szeroki  zakres pomiaru, przy  jednoczesnym  zachowaniu  liniowości charakte-

rystyki  przetwarzania.  W dobrych  konstrukcjach  produkowanych  seryjnie  piezo-

elektrycznych  przetworników  ciśnienia  ten  sam  przetwornik  może  mierzyć  ciśnie-

nia np. z zakresu (0...0,25) MPa oraz (0...25) MPa przy jednakowej czułości, rzę-

du  170  pC/Mpa,  przy  czym  niedokładność  przetwarzania  odniesiona  do  zakresu 

pomiaru  jest  rzędu  ±  0,3%  dla  każdego  zakresu.  Przetworniki  piezoelektryczne 

ciśnienia  wykonuje  się  najczęściej  z  kryształkiem  kwarcu,  dla  zakresów  do  300 

MPa,  turmalinu, dla  zakresów  do 700  MPa  oraz  z  tytanianu baru, dla małych  za-

kresów - rzędu kPa. 

O  zastosowaniu  konkretnego  typu  przetwornika  decydują  nie  tylko  jego 

właściwości  metrologiczne,  ale  także  ekonomiczne.  Znaczna  część  produkowa-

nych przetworników ciśnienia posiada wyjścia w kodzie cyfrowym; przystosowane 

są do podłączenia  wprost  do magistrali  systemów  pomiarowych. Jest to  kierunek 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

36

rozwoju  konstrukcji  nie  tylko  przetworników  ciśnienia,  ale  i  przetworników  innych 

wielkości nieelektrycznych na wielkość elektryczną. 

Ze względu na bardzo szerokie zastosowanie przetworników ciśnienia, pra-

cujących  w  różnych,  niekiedy  ekstremalnych  warunkach,  produkowane  są  one 

w oparciu o różne zasady działania. W rozdziale przedstawiono jedynie te rodza-

je, w których sygnał wyjściowy ma postać sygnału elektrycznego oraz produkowa-

ne są one przez wielu wytwórców. Opisano podstawowe konstrukcje, ograniczając 

się do głównej części przetwornika, w której następuje przetworzenie ciśnienia na 

sygnał elektryczny.  Obecnie  w  większości przetworników  ciśnienia,  w  pobliżu np. 

membrany,  znajduje  się  wzmacniacz  wraz  z  układami  korekcji  np.  temperaturo-

wej.  Umieszczenie  wzmacniacza  w  bezpośredniej  bliskości  źródła  sygnału  elek-

trycznego pozwala na  wzmocnienie  z  reguły  sygnałów  o małych wartościach, tak 

aby sygnał prowadzony przewodem do np. jednostki centralnej systemu pomiaro-

wego  posiadał  odpowiednio  dużą  wartość.  Tym  samym  wzrasta  stosunek  sy-

gnał/szum,  czyli  udział  zakłóceń  nakładających  się  na  sygnał  pomiarowy  w  torze 

przesyłowym ulega zmniejszeniu. 

Innym  kierunkiem  rozwoju  przetworników  ciśnienia  jest  uwzględnienie 

w charakterystyce  przetwarzania  poprawek  związanych  z  wrażliwością  przetwor-

nika  na  wielkości  wpływowe,  takie  jak  temperatura,  wilgotność  itp.  Obie  wymie-

nione  wielkości  mają  wpływ  na  wartość  rezystancji  np.  piezorezystora.  Znając 

model  piezorezystora,  uwzględniający  wielkości  wpływowe  w  znaczący  sposób 

można poprawić dokładność pomiaru ciśnienia, poprzez pomiar i uwzględnienie w 

wyniku pomiaru ciśnienia wielkości wpływowych. Przetworniki do pomiaru tempe-

ratury  i wilgotności  powinny  znajdować  się  wtedy  w  tej  samej  obudowie,  lub  ści-

ślej,  na  wspólnej  płytce.  Tworzy  się  w  ten  sposób  tzw.  matrycę  przetworników 

(matrycę czujników), która umożliwia pomiar pozostałych wielkości – poza ciśnie-

niem.  Jeżeli  uwzględni  się  fakt,  że  np.  na  wynik  pomiaru  wilgotności  ma  wpływ 

ciśnienie i temperatura – to wpływ ten należy również uwzględnić w formie popra-

wek.  Znaczna  część  produkowanych  przetworników  ciśnienia  posiada  wyjście  w 

kodzie  cyfrowym;  przystosowane  są  do  podłączenia  wprost  do  magistrali  syste-

mów  pomiarowych.  Jest  to  kierunek  rozwoju  konstrukcji  nie  tylko  przetworników 

ciśnienia, ale i przetworników innych wielkości nieelektrycznych na wielkość elek-

tryczną. 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

37

2.5. REALIZACJA PRAKTYCZNA ĆWICZENIA – POMIARY. 

Program badań – zadania do wykonania. 

a)  Zapoznać się z aparaturą pomiarową zgromadzoną na stanowisku laboratoryjnym: 

- termoanemometrem konwekcyjnym ANT 2000, 
- anemometrem AZ 9871, 
- miernikiem ciśnienia 

AZ 8252,

 

b)  Zmierzyć temperaturę 

ϑ

G

 , wilgotność oraz prędkość przepływu powietrza w

G

 w osi tunelu 

aerodynamicznego dla w

G

 = 0,5÷ 4 m/s termoanemometrem ANT 2000, traktując go jako 

wzorcowy i termoanemometrem AZ 9871. Wyniki zanotować w tabeli 3.  

Tabela 3 

Lp. 

Pomiary w

G

 

∆w

G

 

δw

G

 

ϑ

G

 

AZ 9871

 

wilgotność 

RH 

AZ 9871

 

Uwagi 

ANT2000 

AZ 9871

 

m/s 

m/s 

m/s 

0

C  

 

10

 

 

 

 

 

 

 

 

                      Rozdzielczość 

 

 

 

 

 

 

 

 

δ [%] 

 

 

 

 

 

 

 

Dla każdego przyrządu obliczyć względny błąd pomiaru (dla dowolnego punktu pomiaru). 

%

100

x

d

n

&

&

±

=

δ

 

gdzie: 

N

x

 - wartość mierzona,  

∆N

d

 - błąd dyskretyzacji (rozdzielczość). 

c)  Zmierzyć ciśnienie p miernikiem ciśnienia 

AZ 8252.

 

UWAGA 

Konieczność przygotowania przed zajęciami informacji na temat wartości rozdzielczości 
zastosowanych mierników (strony WWW na podstawie symboli przyrządów). 

background image

LABORATORIUM

 Pomiary elektryczne wielkości nieelektrycznych 

Pomiary parametrów przepływu

 

 

 
 

przedstawione materiały zostały użyte wyłącznie w celach dydaktycznych  

dr inż. Marek KURKOWSKI

 

38

2.6. PYTANIA SPRAWDZAJĄCE 

1.  Rodzaje przepływów - kryteria ich podziału, 

2.  Rodzaje przepływomierzy, 

3.  Termoanemometry, 

4.  Pomiary wilgotności – metodyka, 

5.  Czujniki ciśnienia – budowa i zasada działania, 

6.  Pomiary ciśnienia – metodyka. 

 

 

 

LITERATURA 

1.  Wykład 

 

2.  J.  Piotrowski:  Pomiary  czujniki  i  metody  pomiarowe  wybranych  wielkości  fi-

zycznych i składu chemicznego  WNT   Warszawa 2009 

 

3.  M. Miłek: Metrologia elektryczna wielkości nieelektrycznych 

Uniwersytet Zielonogórski   2006 

 

4.  A.  Chwaleba,  J.  Czajewski:  Przetworniki  pomiarowe  i  defektoskopowe,  Wy-

dawnictwo Politechniki Warszawskiej 1998 

 

5.  L.  Michalski,  K. Eckersdorf,  J.  Kucharski:  Termometria –  przyrządy  i  metody, 

wyd. Politechniki Łódzkiej, Łódź 2004. 

 

6.  A. Michalski, S. Tumański, B. Żyła: Laboratorium miernictwa wielkości nieelek-

trycznych, Wydawnictwo Politechniki Warszawskiej   1999 

 

7.  Strony www firm: 

INTROL 

LUMEL 

LABEL 

NDN 

DACPOL 

I INNE