Ćwiczenie T3 _PTW

Nowoczesne półprzewodnikowe laboratorium technologiczne –

infrastruktura i aparatura technologiczna

INSTRUKCJA DO ĆWICZENIA LABORATORYJNEGO

prowadzący: dr inż. Beata Ściana, ul. Długa 61, bud. M-11, p. 139,
e-mail: [e-mail]

1. Cel ćwiczenia:



Zapoznanie się z wymogami nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium
technologicznego na przykładzie Laboratorium Nanotechnologii i Struktur
Półprzewodnikowych Wydziałowego Zakładu Mikroelektroniki i Nanotechnologii
(cleanroom w bud. M-11):



zaznajomienie się z podstawowymi wymogami czystych pomieszczeń dla technologii
półprzewodnikowej (ang. cleanroom),



poznanie infrastruktury niezbędnej do funkcjonowania nowoczesnego półprzewo-
dnikowego laboratorium technologicznego (klimatyzacja, systemy pozyskiwania wody
spektralnie czystej, aparatura do wytwarzania azotu i wodoru na poziomie czystości
półprzewodnikowej, urządzenia kontrolujące parametry powietrza w laboratorium
i czystość gazów technologicznych, systemy bezpieczeństwa, urządzenia do neutralizacji
niebezpiecznych związków, systemy wody chłodzącej oraz sprężonego powietrza
i podciśnienia,



zaznajomienie się z podstawowymi zasadami pracy osób w cleenroom-ie (odzież
ochronna, bezpieczeństwo).

2. Przebieg ćwiczenia:



Zapoznanie się z infrastrukturą umieszczoną poza cleanroom-em:

-

generator azotu (rozprężanie ciekłego azotu),

-

generator wodoru (elektroliza wody),

-

oczyszczalniki azotu i wodoru,

-

klimatyzator,

-

neutralizator gazów poreakcyjnych,

-

podstawowe instalacje (wodne, elektryczne, gazowe).



Zapoznanie się z pomieszczeniami i urządzeniami w obrębie cleenroom-u:

-

system bezpieczeństwa,

-

aparatura technologiczna i pomiarowa,

-

główna hala technologiczna, laboratorium chemiczne, pomieszczenie do fotolitografii,

3. Pomiary:

-

pomiar zapylenia powietrza i ocena klasy czystości w głównej hali technologicznej,
pracowni fotolitografii, pod komorą laminarną (pomiar pyłków o średnicy ≥ 0,3µm,
≥ 0,5µm, ≥ 5,0µm w stopie sześciennej - licznik cząstek Aerotrak 9303 firmy TSI
z aktualną homologacją),

-

ocena wpływu obecności człowieka na czystość w obrębie cleanroom-u,

-

pomiar parametrów wody spektralnie czystej (rezystywność



, parametr TOC) na

wyjściu z filtra końcowego urządzenia Millipore Milli-Q Integral 15.

4. Scenariusz zajęć (łączny czas wykonania ćwiczenia 135 minnut):



(40 min, sala dydaktyczna) wstęp teoretyczny do zajęć: przedstawienie tematyki zajęć,
omówienie podstawowych zagadnień związanych z wymogami i funkcjonowaniem
nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium technologicznego,



(35 min, pomieszczenia poza cleanroom-em) prezentacja podstawowej infrastruktury,
niezbędnej do funkcjonowania nowoczesnego półprzewodnikowego laboratorium
technologicznego,



(40 min, cleanroom) zapoznanie się z zasadami postępowania osób przed wejściem do
cleanroom-u (odzież ochronna, korzystanie ze śluzy) oraz podczas przebywania
w obrębie cleanroom-u, prezentacja aparatury i pomieszczeń w cleanroom-ie, pomiar
zapylenia powietrza i czystości wody spektralnie czystej,



(20 min, sala dydaktyczna) podsumowanie zajęć i kartkówka.

5. Literatura

Wykłady, PTW, prof. dr hab. inż. Reginy Paszkiewicz
http://www.cleanroom.com.pl [stan na 26.02.2015]
http://pl.wikipedia.org/wiki/Clean_room [stan na 26.02.2015]
http://www.lumexpol.pl [stan na 26.02.2015]
http://www.intech.eu [stan na 26.02.2015]
http://www.air-liquide.pl [stan na 26.02.2015]