Mikroskopia Si艂 Atomowych AFM
Mikroskopia ze skanuj膮c膮 sond膮 SPM to wsp贸lna nazwa rodziny technik mikroskopowych, kt贸rych cech膮 charakterystyczn膮 jest to, 偶e do skanowania powierzchni pr贸bki wykorzystywana jest sonda skanuj膮ca. Dwa podstawowe rodzaje SPM to skaningowa mikroskopia tunelowa (STM) i mikroskopia si艂 atomowych (AFM). Technika SPM zapewnia mo偶liwo艣膰 uzyskiwania informacji o topologii (ale tak偶e w艂a艣ciwo艣ciach mechanicznych, elektrycznych, magnetycznych) w skali od mikrometr贸w do聽 u艂amk贸w nanometr贸w.
聽聽聽 Zasada dzia艂ania Skaningowego Mikroskopu Tunelowego bazuje na efekcie tunelowym, a wi臋c przep艂ywie pr膮du tunelowego kiedy sonda zbli偶y si臋 odpowiednio blisko powierzchni pr贸bki. Gdy sonda przemieszcza si臋 po powierzchni pr贸bki zmienia si臋 jej topografia a wi臋c r贸wnie偶 i pr膮d tunelowy. P臋tla sprz臋偶enia zapewniaj膮c sta艂y pr膮d tunelowy utrzymuje sta艂膮 odleg艂o艣膰 mi臋dzy sond膮 a pr贸bk膮. STM mo偶e by膰 stosowany wy艂膮cznie do pr贸bek przewodz膮cych.
聽聽聽 Technik膮 znacznie bardziej odpowiedni膮 do bada艅 dielektryk贸w jest mikroskopia si艂 atomowych, kt贸ra do obrazowania powierzchni z rozdzielczo艣ci膮 si臋gaj膮c膮 rz臋du kilku nanometr贸w wykorzystuje sond臋 w postaci ostrza umieszczonego na p艂askiej d藕wigience. Technika AFM bazuje na wykorzystywaniu oddzia艂ywa艅 mi臋dzyatomowych. Trzy podstawowe tryby pracy AFM to:
tryb kontaktowy
tryb bezkontaktowy
tryb z przerywanym kontaktem
Opr贸cz informacji na temat topologii technika ta mo偶e by膰 r贸wnie偶 rozszerzona, tak aby umo偶liwi膰 uzyskanie wielu ciekawych informacji o w艂. powierzchni badanych materia艂贸w biologicznych i nie-biologicznych (cia艂 sta艂ych, ale r贸wnie偶 cieczy), s膮 to m.in.
w艂. magnetyczne, wtedy tzw. mikroskopia si艂 magnetycznych (ang. Magnetic Force Microscopy)
charakterystyka w艂. mechanicznych takich jak tarcie, adhezja, chropowato艣膰, spr臋偶ysto艣膰. S艂u偶膮 do tego np. mikroskopia z modulacj膮 si艂y (ang. Force Modulation Microscopy), mikroskopia z detekcj膮 fazy (ang. Phase Detection Microscopy), boczna mikroskopia si艂owa (ang. Lateral Force Microscopy)
w艂. elektrostatycznych, tzw. Mikroskopia Si艂 Elektrostatycznych (ang. Electrostatic Force Microscopy)
zmiany przestrzenne w pojemno艣ci elektrycznej badanych uk艂ad贸w, tzw. Mikroskopia Pojemno艣ciowa (ang. Scanning Capacitance Microscopy)
w艂. elektryczne nanostruktur, tzw. Mikroskopia Si艂 Atomowych z Przewodz膮c膮 Sond膮 (ang. Conductive AFM)
(a)![]() |
(b)![]() |
---|
Rys.1. Schemat przedstawiaj膮cy zasad臋 badania powierzchni pr贸bki w trybie (a) kontaktowym i (b) z przerywanym kontaktem.
(a)![]() |
(b)![]() |
---|
Rys.2. Schemat przedstawiaj膮cy zasad臋 badania (a) w艂. magnetycznych powierzchni pr贸bki w trybie 鈥濴ift Mode鈥 i聽 (b) mechanicznych (Quantitive Nanomechanical Mapping (QNM))
Aparatura
1) Mikroskop Si艂 Atomowych Icon Bruker o nast臋puj膮cych parametrach: zakres skanowania XY do 90 碌m2, Z 鈥 11.6 碌m, unikatowy optoelektroniczny system Closed-Loop stabilizuj膮cy prac臋 skanera przy utrzymaniu niskiego poziomu szum贸w, regulacji temperatury od聽 -10 潞C do +250 潞C, rozdzielczo艣膰 atomowa. Dedykowany do pomiaru materia艂贸w o du偶ej powierzchni.
Dost臋pne tryby pracy - ScanAsyst (w cieczy i powietrzy), Tapping Mode (w cieczy i powietrzu), Contact Mode (w cieczy i powietrzu), Lateral Force Microscopy, PhaseImaging, Lift Mode, MFM, Force Spectroscopy, PeakForce Tuna, Force Volume, EFM, Surface Potential, Piezoresponse Microscopy, Force Spectroscopy, PeakForce QNM.
2) Mikroskop si艂 atomowych Innova Bruker o nast臋puj膮cych parametrach: zakres skanowania XY do 90 碌m2, Z=7.5 碌m, i 5 碌m2 Z=1.5 碌m, unikatowy optoelektroniczny system Closed-Loop stabilizuj膮cy prac臋 skanera przy utrzymaniu niskiego poziomu szum贸w, rozdzielczo艣膰 atomowa. 聽
Dost臋pne tryby pracy: Contact Mode (w powietrzu), Tapping Mode (w powietrzu), PhaseImaging, Lift Mode, Magnetic Force Microscopy (MFM), Electrostatic Force Microscopy (EFM), Dark Lift, Lateral Force, Microscopy, Nano-Indentation, Scanning Tunneling Microscopy STM, Low Current STM, Conductive AFM, STM with EC, Contact and Tapping Modes with EC, Surface Potential, Piezoresponse, Scanning Capacitance, Force Modulation.
![]() |
![]() |
---|
Fig. 3. Mikroskop Si艂 Atomowych Icon Bruker
聽聽聽聽聽聽聽 聽
![]() |
![]() |
---|
Fig. 4. Mikroskop Si艂 Atomowych Innova Bruker
Przyk艂ady
Fig. 5. Topografia wysp niklowych na pod艂o偶u krzemowym
聽
(a)![]() |
(b)![]() |
---|
Fig. 5. Topografia (a) i zredukowany modu艂 Younga (b) struktury lamelarnej PEO
聽
![]() |
![]() |
---|
Fig. 6. Topografia i si艂 tarcia (lateralnych) dla cienkiej warstwy miki