Układy scal. unipolarne podobnie jak układy bipolarne są wytwarzane wyłącznie w krzemie technologią epiplenarną. W układach scal. unipol. są stosowane jedynie tranzystory MIS. Ukł. scal. MIS
mają w porównaniu z układa. bipolarn. szereg zalet:
-prostrza technologia wytwarzania (mniej procesów)
-możliwość wykonania całego ukł. tylko z MIS-ów
-większa gęstość upakowania (zajmują mniej miejs.)
- naturalna samoizolacja- zbędne są więc wyspy
- znacznie mniejszy pobór mocy
- ustępują jednak pod względem szybkości działania w porównaniu do ukł. bipolarnych
W ukł. scal. unipol. stosuje się wszystkie cztery rodzaje tranzystorów MIS tj z kanałami wzbogaconymi i zubożanymi typu p i n.
Tran. MOS z kanałem wzbogaconym Cechą charakterystyczną konstrukcji tran. z kanałem wzbogaconym jest to , że bramka całkowicie pokrywa kanał przykrywając częściowo obszary p+ źródła i drenu.
Tran. MOS z kanałem wzbogaconym typu n Istotną zaletą tranz. z kanałem typu n w porównaniu tran. z kanałem p jest większa szybkość działania z uwagi na około 3 -krotnie większą ruchliwość elektr. niż dziur. Główne fazy wytwarzania są te same tylko zamiast boru stosuje się fosfor przy domieszkowa.
Jednak tran. z bramką aluminiową wykonany w ten sposób ma ujemne napięcie progwe czyli jest tranz. z kanałem zubożanym. Aby otrzymać dodatnią wartość napięcia progowego, czyli tran. z kanałm wzbogaconym typu n trzeba:
-zwiększyć poziom domieszkowania podłoża
-zastosować dodatkową polaryzację podłoża
-zastosować bramke krzemową zamiast aluminiowej
Tran. MOS z kanałem zubożanym W przypadku bramki aluminiowej w sposób naturalny uzyskuje się tran. z kanałem zubożanym typu n . Gdy używamy bramki krzemowej to trzeba kanał wbudować posługując się jedną z następujących metod: dyfuzja, implantacja, epitaksja.
Technologia bramki krzemowej Najważniejszymi czynnikami ograniczającymi szbkość działania tran. MIS są pojemności pasożytnicze Cgse Cgde spowodowane częściowym pokryciem obszarów źródła i drenu przez elektrodę bramki. Jest dużo metod powodujących zmniejszenie zachodzenia bramki nad obszary źródłai drenu:
- stosowanie bramki krzemowej albo wolframowej
Najczęściej stosuje się metodę bramki krzemowej.