1F0

Rozdzielczość - rozdzielczość jest miarą najmniejszej odległości rozróżnialnych punktów w mikroskopie. Np.. lOnm jest lepszą rozdzielczością niż 20iun.

Rozmiar plamki wiązki elektronów na próbce znacząco wpływa na rozdzielczość. W SEM nie jest możliwa rozdzielczość większa niż wielkość plamki wiązki elektronów na próbce.

Figur* 2-5 Koch ryp* ofugnal (triginatn wilhin a tpecific n>lume of inti-racłHw The scc of the lolume Umili the tpaiui raolunon of the ugnsl Hceomktry ełeetrom hor* the x mol len vohme. by

haehcottered cleclnm*. and X-ruyt

Wiązka elektronów nie oddziałuje tylko z powierzchnią próbki. Wiązka penetruje w głąb próbki na pewien dystans i oddziałuje z materiałem na swojej drodze przebiegu.