Roztwór badanej substancji wprowadza się do plazmy w postaci aerozolu. W plazmie zachodzą następujące procesy:
Desolwatacja aerozolu! odparowanie rozpuszczalnika)
Odparowanie cząsteczek soli
Dysocjacja cząsteczek na atomy( atomizacja)
Wzbudzenie swobodnych atomów i emisja pochłoniętej energii w postaci promieniowania elektromagnetycznego, charakterystycznego dla danego pierwiastka
Za pomocą monochromatora promieniowanie jest rozszczepiane i rozdzielane na poszczególne linie ( dla wybranej długości fali mierzy się jego natężenie -intensywność wyselekcjonowanej linii widmowej) Linie emisyjne otrzymywane w ICP mieszczą się w przedziale 190-450nm a więc głównie w nadfiolecie. Poszczególne linie widmowe doprowadzane są do fotopowielaczy,w których sygnał optyczny jest przetwarzany na sygnał cyfrowy