26 (495)

Wybór związków metaloorganicznych jako reagentów wynika z:

•    Duża ilość związków źródłowych umożliwia wytwarzanie warstw o różnych właściwościach

•    Możliwości doboru prężności par źródeł: mała prężność par - mała szybkość wzrostu

duża prężność par - słaba kontrola grubości warstwy (niebezpieczeństwo) można lepiej sterować źródłami ciekłymi niż źródłami stałymi

•    Słabo toksyczne związki ( TBA vs. AsH3)

•    Związki źródłowe nie reagują ze sobą w niskich temperaturach

•    Dobry wybór do wytwarzania półprzewodników AIIIBY

Właściwości związków metaloorganicznych:

•    Związki źródłowe EH grupy są:

•    lotnymi cieczami o dużej prężności par ■ nasycają gaz nośny (typowo H₂)

•    rozkładają się w niskich temperaturach (300°C to 500°C)

•    Tri-Metylek-Gąlu: (CH₃)₃Ga; Tri-Etylek Galu: (CHjCH^Ga

•    Związkami grupy V są najczęściej wodorki (AsH₃, PH₃)

•    bardzo toksyczne: niebezpieczne w transporcie, przy podłączaniu i używaniu

•    ich dekompozycja zachodzi w temperaturach o olc ~200°C wyższych niż w przypadku związków metalorganicznych grupy III

•    poszukuje się innych związków źródłowych: Tri-Butylo-Arsen (CH₃)CAsH₂ (toksyczny ale ciecz)

Wpływ temperatury

1.    W zakresie niskich temperatur szybkość wzrostu jest ograniczona przez zachodzącą na powierzchni dekompozycje ragentów

2.    W zakresie temperatur, gdzie szybkość wzrostu nie zależy od temperatury wzrost jest limitowany transportem reagentów w fazie gazowej do powierzchni podłoża

3.    Zmniejszenie szybkości wzrostu w zakresie wysokich temperatur jest związane z desorpcją reagentów pasożytniczymi reakcjami w fazie gazowej

900"C    700*C 600*C 500*C    425'C

System gazowy MOYPE III

MOVPE (A1I1-N)

systemy epitaksjalne MOYPE

Szczelność instalacji gazowej - tlen może pogarszać jakość osadzanej warstwy Szybkie przełączanie i zmiana składu reagentów - ważne ze względu na ostre interfejsy i osadzanie cienkich warstwy

Precyzyjna kontrola przepływu reagentów, ciśnienia i temperatury jest ważna ze względu na powtarzalność i stabilność procesu

System gazowy do mieszania i pomiaru ilości gazów dostarczanych do reaktorar

Sposób dostarczania gazów i skład atmosfery gazowej określa strukturę warstwy epitaksjalnej