2210689403

7

dokonać analizy jakościowej pierwiastków wchodzących w skład próbki, natomiast pomiar natężenia tego promieniowania - ich stężenia. Istnieją dwa rodzaje detekcji promieniowania rentgenowskiego w zależności od użytego spektrometru: WDS - pomiar dł. fali promieniowania rentgenowskiego oraz EDS - spektrometr mierzący energię promieniowania rentgenowskiego.

Rysunek 5. Powstawanie charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego. Mikroanaliza rentgenowska (EDS)

Skaningowy mikroskop elektronowy z detektorem EDS (Energy Dispersive X - Ray Spectroscopy) pozwala na identyfikację składu pierwiastkowego badanego materiału dla wszystkich pierwiastków o liczbie atomowej większej niż bor. Większość pierwiastków jest wykrywana przy stężeniach rzędu 0,1%.

Metoda EDS pozwala na uzyskanie widma (zbioru linii promieniowania charakterystycznego z tłem promieniowania ciągłego) z wybranego obszaru lub punktu próbki (Rysunek 6). Spektrum jest wyskalowane w kiloelektronowoltach (keV) na osi odciętych i liczbą impulsów (ang. counts) na osi rzędnych. Linie przewyższające tło tworzą tzw. piki. Analiza jakościowa polega na identyfikacji występujących linii spektralnych i przypisaniu ich poszczególnym pierwiastkom. Analiza ilościowa wykorzystuje zależność liczby emitowanych impulsów charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego pierwiastka od zawartości pierwiastka w analizowanej objętości. Pomiar natężenia linii widmowych musi być poprzedzony wyodrębnieniem ich z tła promieniowania ciągłego. Obliczenia rzeczywistej zawartości pierwiastków w badanym obszarze wymaga zastosowania