8416073904

2.2.P.03: Inżynieria powierzchni materiałów konstrukcyjnych niemetalowych K. Lukaszkowicz - Politechnika Śląska

Obróbka polimerów promieniowaniem laserowo-plazmowych źródeł EUV

Technologia mikro- i nanoobróbki polimerów organicznych wykorzystuje efekt ablacji materiału promieniowaniem elektromagnetycznym o długości fali w przedziale od kilku do kilkudziesięciu nanometrów. Mikroobróbka polimerów z wykorzystaniem promieniowania EUV jest stosowana do wytwarzania mikroukładów wchodzących w skład różnego rodzaju urządzeń mechanicznych, elektromechanicznych oraz optyczno-elektromechanicznych.

Zdjęcia: H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, L. Juha, J. Kostecki, R. Rakowski, M. Szczurek, Proceedings of the Symposium on Photonics Technologies for 7th Framework Program, Wrocław 2006.

A. Bartnik, H. Fiedorowicz, R. Jarocki, J. Kostecki, A. Szczurek, M. Szczurek, Applied Physics B % (2009) 727-730.

2.2.P.03: Inżynieria powierzchni materiałów konstrukcyjnych niemetalowych K. Lukaszkowicz - Politechnika Śląska

Główne trendy i kierunki rozwojowe

Technologia fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD):

□    wytwarzanie powłok o strukturze nanokompozytowej;

□    technologia MOPVD;

□    stosowanie technologii hybrydowych.

Technologia chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD):

□    obniżenie temperatury procesu;

□    technologia MOCVD.

Technologia osadzania elektrolitycznego:

□    osadzanie metali za pomocą prądów modulowanych (pulsacyjnych);

□    stosowanie technologii hybrydowych.

a