8416073918

2.2.P.03: Inżynieria powierzchni materiałów konstrukcyjnych niemetalowych K. Lukaszkowicz - Politechnika Śląska

Fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)

Metody fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) obejmują osadzanie powłok przy ciśnieniu 10-M0-⁵ Pa. Cechą charakterystyczną nanoszenia powłok metodą PVD jest odparowanie lub rozpylanie w próżni metali i stopów oraz jonizacja gazów i par metali przebiegających pod obniżonym ciśnieniem i w temperaturze od pokojowej do 600°C, przy wykorzystaniu różnych procesów fizycznych. Ich cechą wspólną jest krystalizacja powłoki otrzymanej zazwyczaj z plazmy. Między podłożem a powłoką tworzy się warstwa przejściowa o charakterze adhezyjnym.