Analiza spektroskopowa w mikroobszarach

1. W mikroskopie elektronowym skaningowym układ odchylania wiązki powoduje
sterowanie wiązką elektronów. W efekcie pozwala to na uzyskanie obrazu topografii
powierzchni oraz obrazu rozkładu pierwiastków w strefie powierzchniowej badanej
próbki.
2. Idea mikroanalizy rentgenowskiej polega na wzbudzaniu przez silnie
zogniskowaną wiązkę elektronów, o średnicy zwykle poniżej 1

µ

m,

charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego w wybranym miejscu badanej
próbki i na analizie tego promieniowania za pomocą spektrometru rentgenowskiego.

3. Metodą mikroanalizy rentgenowskiej można ustalić rodzaj pierwiastków, które
występują w wybranym mikroobszarze, ich powierzchniowe i liniowe rozmieszczenie
oraz precyzyjną informację o ilości poszczególnych pierwiastków.
4. Mikroanaliza rentgenowska jest to najłatwiejsza metoda analizy małych próbek.
Ich przygotowanie nie wymaga specjalnych technik

.